Supports de plaquettes avec revêtement en carbure de silicium (SiC)

Transporteurs de plaquettesavecRevêtement en carbure de silicium (SiC)de semicera sont savamment conçus pour une croissance épitaxiale haute performance, garantissant des résultats optimaux dansSi EpitaxieetEpitaxie SiCcandidatures. Les supports de précision de Semicera sont construits pour résister à des conditions extrêmes, ce qui en fait des composants essentiels des systèmes MOCVD Susceptor pour les industries exigeant une précision et une durabilité élevées.

Ces supports de plaquettes sont polyvalents et prennent en charge les processus critiques avec des équipements tels queSupport de gravure PSS, Support de gravure ICP, etTransporteur RTP. Leur revêtement SiC robuste améliore les performances pour des applications telles queLED épitaxialeSuscepteur et silicium monocristallin, garantissant des résultats cohérents même dans des environnements exigeants.

Disponibles dans plusieurs configurations, telles que Barrel Susceptor et Pancake Susceptor, ces supports jouent un rôle essentiel dans la fabrication photovoltaïque et de semi-conducteurs, en soutenant la production de pièces photovoltaïques et en facilitant les processus d'épitaxie GaN sur SiC. Grâce à leur conception supérieure, ces transporteurs constituent un atout clé pour les fabricants visant une production à haute efficacité.