Bateau à plaquettes SiC
Bateau à plaquettes en carbure de siliciumest un dispositif porteur pour plaquettes, principalement utilisé dans les processus de diffusion solaire et de semi-conducteurs.Il présente des caractéristiques telles que la résistance à l'usure, la résistance à la corrosion, la résistance aux chocs à haute température, la résistance au bombardement de plasma, la capacité portante à haute température, la conductivité thermique élevée, la dissipation thermique élevée et une utilisation à long terme qui n'est pas facile à plier et à déformer.Notre société utilise du carbure de silicium de haute pureté pour garantir la durée de vie et propose des conceptions personnalisées, notamment.divers verticaux et horizontauxbateau à plaquettes.
Pagaie SiC
Lepalette en porte-à-faux en carbure de siliciumest principalement utilisé dans le revêtement (diffusion) des tranches de silicium, qui joue un rôle crucial dans le chargement et le transport des tranches de silicium à haute température.C'est un élément clé deplaquette semi-conductricesystèmes de chargement et présente les principales caractéristiques suivantes :
1. Il ne se déforme pas dans les environnements à haute température et exerce une force de chargement élevée sur les plaquettes ;
2. Il résiste au froid extrême et à la chaleur rapide et a une longue durée de vie ;
3. Le coefficient de dilatation thermique est faible, ce qui prolonge considérablement le cycle de maintenance et de nettoyage et réduit considérablement les polluants.
Tube de four SiC
Tube de traitement en carbure de silicium, fabriqué en SiC de haute pureté sans impuretés métalliques, ne pollue pas la tranche et convient aux processus tels que la diffusion de semi-conducteurs et photovoltaïques, le processus de recuit et d'oxydation.
Bras robotique SiC
Bras robotisé SiC, également connu sous le nom d'effecteur final de transfert de tranches, est un bras robotique utilisé pour transporter des tranches de semi-conducteurs et est largement utilisé dans les industries des semi-conducteurs, de l'optoélectronique et de l'énergie solaire.L'utilisation de carbure de silicium de haute pureté, avec une dureté élevée, une résistance à l'usure, une résistance sismique, une utilisation à long terme sans déformation, une longue durée de vie, etc., peut fournir des services personnalisés.
Graphite pour la croissance des cristaux
Creuset à trois pétales en graphite
Tube de guidage en graphite
Bague en graphite
Bouclier thermique en graphite
Tube d'électrode en graphite
Déflecteur en graphite
Mandrin en graphite
Tous les processus utilisés pour la culture de cristaux semi-conducteurs fonctionnent dans des environnements corrosifs et à haute température.La zone chaude du four de croissance cristalline est généralement équipée d'une haute pureté résistante à la chaleur et à la corrosion.composants en graphite, tels que radiateurs en graphite, creusets, cylindres, déflecteurs, mandrins, tubes, anneaux, supports, écrous, etc. Notre produit fini peut atteindre une teneur en cendres inférieure à 5 ppm.
Graphite pour épitaxie de semi-conducteurs
Socle graphite
Baril épitaxial en graphite
Base épitaxiale de silicium stallin Monocry
Pièces en graphite MOCVD
Luminaire en graphite semi-conducteur
Le processus épitaxial fait référence à la croissance d'un matériau monocristallin sur un substrat monocristallin avec le même arrangement de réseau que le substrat.Il nécessite de nombreuses pièces en graphite de très haute pureté et une base en graphite avec revêtement SIC.Le graphite de haute pureté utilisé pour l'épitaxie des semi-conducteurs a une large gamme d'applications, qui peut correspondre aux équipements les plus couramment utilisés dans l'industrie. En même temps, il a des propriétés extrêmement élevées.pureté, revêtement uniforme, excellente durée de vie et résistance chimique et stabilité thermique extrêmement élevées.
Matériau d'isolation et autres
Les matériaux d'isolation thermique utilisés dans la production de semi-conducteurs sont le feutre dur en graphite, le feutre mou, la feuille de graphite, les matériaux composites de carbone, etc. Nos matières premières sont des matériaux en graphite importés, qui peuvent être coupés selon les spécifications des clients et peuvent également être vendus comme entier.Le matériau composite de carbone est généralement utilisé comme support pour le processus de production de cellules solaires monocristallines et polysilicium.