Pièces de processus de gravure

Support de traitement PSS pour la transmission de plaquettes semi-conductrices
Plateau ICP à semi-conducteur personnalisé (gravure)
Plateau de roulement en carbure de silicium de gravure LED, plateau ICP (Etch)
Plateau de gravure en carbure de silicium LED résistant aux hautes températures et à la corrosion (plateau de gravure ICP)
Support SiC pour le traitement thermique par chauffage rapide RTP/RTA
Plateaux à broches SiC pour les processus de gravure ICP dans l'industrie LED
Plaque support RTA en carbure de silicium pour semi-conducteur
Supports de revêtement SiC pour la gravure de semi-conducteurs