Plateau de roulement en carbure de silicium de gravure LED, plateau ICP (Etch)

Brève description:

Semicera Energy Technology Co., Ltd. est un fournisseur leader spécialisé dans les consommables de plaquettes et de semi-conducteurs avancés.Nous nous engageons à fournir des produits de haute qualité, fiables et innovants à la fabrication de semi-conducteurs,industrie photovoltaïqueet d'autres domaines connexes.

Notre gamme de produits comprend des produits en graphite revêtus de SiC/TaC et des produits céramiques, englobant divers matériaux tels que le carbure de silicium, le nitrure de silicium et l'oxyde d'aluminium, etc.

En tant que fournisseur de confiance, nous comprenons l'importance des consommables dans le processus de fabrication et nous nous engageons à fournir des produits répondant aux normes de qualité les plus élevées pour répondre aux besoins de nos clients.

 

Détail du produit

Mots clés du produit

Description du produit

Notre société fournit des services de processus de revêtement SiC par méthode CVD sur la surface du graphite, de la céramique et d'autres matériaux, de sorte que des gaz spéciaux contenant du carbone et du silicium réagissent à haute température pour obtenir des molécules SiC de haute pureté, des molécules déposées à la surface des matériaux revêtus, formant une couche protectrice SIC.

Caractéristiques principales:

1. Résistance à l’oxydation à haute température :

la résistance à l'oxydation est encore très bonne lorsque la température atteint 1600 C.

2. Haute pureté : fabriqué par dépôt chimique en phase vapeur dans des conditions de chloration à haute température.

3. Résistance à l'érosion : dureté élevée, surface compacte, particules fines.

4. Résistance à la corrosion : acides, alcalis, sels et réactifs organiques.

Principales spécifications du revêtement CVD-SIC

Propriétés SiC-CVD

Structure en cristal

Phase β du FCC

Densité

g/cm³

3.21

Dureté

Dureté Vickers

2500

Taille d'un grain

µm

2~10

Pureté chimique

%

99.99995

Capacité thermique

J·kg-1 ·K-1

640

Température de sublimation

2700

Force de flexion

MPa (RT 4 points)

415

Module d'Young

Gpa (courbure 4pt, 1300℃)

430

Expansion thermique (CTE)

10-6K-1

4.5

Conductivité thermique

(W/mK)

300


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