Revêtement SiCPartie demi-lune en graphiteest un composant clé utilisé dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs, notamment pour les équipements épitaxiaux SiC.Nous utilisons notre technologie brevetée pour fabriquer la pièce en demi-lune avec une pureté extrêmement élevée, une bonne uniformité de revêtement et une excellente durée de vie, ainsi que des propriétés élevées de résistance chimique et de stabilité thermique.
