Pièces de la seconde moitié pour les chicanes inférieures dans le processus d'épitaxie

Brève description :

Pièces en graphite revêtues de SiC pour équipements épitaxiaux SiC.

Présentation et utilisation du produit : tube de quartz connecté, peut laisser passer du gaz pour entraîner la rotation de la base du plateau, contrôle de la température

Emplacement du produit : dans la chambre de réaction, pas en contact direct avec la plaquette

Principaux produits en aval : appareils électriques

Marché terminal principal : véhicules à énergies nouvelles

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Détail du produit

Mots clés du produit

Revêtement SiCPartie demi-lune en graphiteest un composant clé utilisé dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs, notamment pour les équipements épitaxiaux SiC. Nous utilisons notre technologie brevetée pour fabriquer la pièce en demi-lune avec une pureté extrêmement élevée, une bonne uniformité de revêtement et une excellente durée de vie, ainsi que des propriétés élevées de résistance chimique et de stabilité thermique.