Plaque de bateau horizontale en carbure de silicium

Brève description :

Semicera fournit des bateaux à plaquettes, titulaireet des supports de plaquettes personnalisés pour les configurations verticales/colonnes et horizontales. Les céramiques avancées offrent une excellente résistance à la chaleur et une excellente durabilité du plasma, tout en réduisant les particules et les polluants. Le carbure de silicium (SiC) de qualité semi-conducteur offre également une résistance à haute température pour les supports de tranches de grande capacité.

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Détail du produit

Mots clés du produit

Présentation de notre plaque de bateau horizontale en carbure de silicium de pointe, méticuleusement conçue pour les applications de traitement de plaquettes de l'industrie des semi-conducteurs. Fabriquée à partir du meilleur carbure de silicium, notre plaque de bateau horizontale se distingue par ses propriétés thermiques, sa résistance chimique et sa résistance mécanique supérieures. Idéale pour les processus à haute température, cette plaque bateau est conçue pour offrir des performances exceptionnelles, garantissant précision et efficacité à chaque utilisation.

Principales fonctionnalités

Durabilité exceptionnelle :Fabriqué à partir de carbure de silicium de haute pureté, notre plaque de bateauest conçu pour résister à des températures extrêmes jusqu'à1600°C, offrant une durabilité et une durée de vie inégalées.

Distribution uniforme de la chaleur :La conductivité thermique du carbure de silicium assure une répartition uniforme de la chaleur sur la plaque, ce qui est essentiel pour maintenir la cohérence du processus et obtenir une production de tranches de haute qualité.

Résistance chimique :Résistante aux produits chimiques corrosifs et aux environnements difficiles, notre plaque pour bateau maintient son intégrité et ses performances, même dans les applications de traitement de semi-conducteurs les plus exigeantes.

Haute résistance mécanique :La construction robuste de notreplaque de bateaugarantit une excellente résistance mécanique et résistance à l’usure, réduisant ainsi le risque de dommages et la nécessité de remplacements fréquents.

Applications :

NotrePlaque de bateau horizontale en carbure de siliciumest parfait pour une large gamme de processus à haute température dans la fabrication de semi-conducteurs, y compris, mais sans s'y limiter, les processus de diffusion, d'oxydation, d'implantation ionique et CVD.Sa conception et ses matériaux lui permettent de répondre aux exigences précises du traitement des plaquettes, ce qui en fait un composant essentiel pour les lignes de production de semi-conducteurs.

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