Description
Épitaxie au carbure de siliciumLes disques à plaquettes pour les équipements VEECO de semicera sont conçus avec précision pour les processus épitaxiaux avancés, garantissant des résultats de haute qualité dans les deux domaines.Si EpitaxieetEpitaxie SiCcandidatures. Ces disques de plaquettes sont spécialement conçus pour les équipements VEECO, améliorant les performances et l'efficacité de divers processus de fabrication de semi-conducteurs. L'expertise de Semicera garantit une durabilité et une précision exceptionnelles pour les applications critiques.
Ces disques de plaquettes épitaxiales sont idéaux pour une utilisation avecSuscepteur MOCVDsystèmes, fournissant un support robuste pour les composants essentiels tels queSupport de gravure PSS, Support de gravure ICP, etTransporteur RTP. De plus, ils offrent une compatibilité améliorée avecSuscepteur épitaxial LED, Barrel Susceptor et Silicium monocristallin, garantissant que vos lignes de production maintiennent les plus hauts standards d'efficacité et de précision.
Conçus pour une technologie de pointe, ces disques de plaquettes contribuent de manière significative à la production de pièces photovoltaïques et facilitent des processus complexes comme l'épitaxie GaN sur SiC. Qu'ils soient utilisés pour des configurations de suscepteurs de crêpes ou d'autres applications exigeantes, les disques de plaquettes épitaxiales en carbure de silicium de Semicera constituent une base fiable pour la fabrication avancée de semi-conducteurs, garantissant des performances optimales et une durabilité à long terme.
Principales caractéristiques
1. Graphite enduit de SiC de haute pureté
2. Résistance thermique supérieure et uniformité thermique
3. BienRevêtement en cristal SiCpour une surface lisse
4. Haute durabilité contre le nettoyage chimique
Principales spécifications des revêtements CVD-SIC :
| SiC-CVD | ||
| Densité | (g/cc) | 3.21 |
| Résistance à la flexion | (MPa) | 470 |
| Dilatation thermique | (10-6/K) | 4 |
| Conductivité thermique | (W/mK) | 300 |
Emballage et expédition
Capacité d'approvisionnement :
10000 pièces/pièces par mois
Emballage et livraison :
Emballage : emballage standard et solide
Poly sac + Boîte + Carton + Palette
Port:
Ningbo/Shenzhen/Shanghai
Délai de mise en œuvre:
| Quantité (pièces) | 1-1000 | >1000 |
| HNE. Temps (jours) | 30 | A négocier |
