Suscepteur de graphite à revêtement en carbure de silicium

1. Conductivité thermique supérieureLe suscepteur en graphite revêtu de SiC présente une conductivité thermique exceptionnelle, cruciale pour une dissipation thermique efficace lors de la fabrication des semi-conducteurs. Cette fonctionnalité minimise les gradients thermiques sur la surface de la tranche, favorisant une répartition uniforme de la température, essentielle pour obtenir les propriétés semi-conductrices souhaitées.

2. Résistance robuste aux chocs chimiques et thermiquesLe revêtement SiC offre une formidable protection contre la corrosion chimique et les chocs thermiques, préservant l'intégrité du suscepteur en graphite même dans des environnements de traitement difficiles. Cette durabilité améliorée réduit les temps d'arrêt et prolonge la durée de vie, contribuant ainsi à accroître la productivité et la rentabilité dans les installations de fabrication de semi-conducteurs.

3. Personnalisation pour des besoins spécifiquesNos suscepteurs en graphite revêtus de SiC peuvent être adaptés pour répondre à des exigences et préférences spécifiques. Nous proposons une gamme d'options de personnalisation, notamment des ajustements de taille et des variations d'épaisseur de revêtement, pour garantir une flexibilité de conception et des performances optimisées pour différentes applications et paramètres de processus.