Revêtement SiCPartie demi-lune en graphiteest un composant clé utilisé dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs, notamment pour les équipements épitaxiaux SiC. Nous utilisons notre technologie brevetée pour fabriquer la pièce en demi-lune avec une pureté extrêmement élevée, une bonne uniformité de revêtement et une excellente durée de vie, ainsi que des propriétés élevées de résistance chimique et de stabilité thermique.





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Support de plaquette d'épitaxie SiC
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Support de plaquette en carbure de silicium (SiC)
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Suscepteur en graphite avec revêtement en carbure de silicium...
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Supports de plaquettes en graphite recouverts de carbure de silicium
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Supports de plaquettes avec revêtement en carbure de silicium (SiC)
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Bague de mise au point en SiC massif