Processus de revêtement SiC pour supports en graphite revêtus de SiC à base de graphite

Brève description:

Semicera Energy Technology Co., Ltd. est l’un des principaux fournisseurs de céramiques semi-conductrices avancées.Nos principaux produits comprennent : des disques gravés en carbure de silicium, des remorques de bateaux en carbure de silicium, des navires à plaquettes en carbure de silicium (PV et semi-conducteurs), des tubes de four en carbure de silicium, des palettes en porte-à-faux en carbure de silicium, des mandrins en carbure de silicium, des poutres en carbure de silicium, ainsi que des revêtements CVD SiC et Revêtements TaC.
Les produits sont principalement utilisés dans les industries des semi-conducteurs et du photovoltaïque, telles que les équipements de croissance cristalline, d'épitaxie, de gravure, d'emballage, de revêtement et de diffusion.

 

Détail du produit

Mots clés du produit

Description

Nous maintenons des tolérances très étroites lors de l'application duRevêtement SiC, utilisant un usinage de haute précision pour garantir un profil de suscepteur uniforme.Nous produisons également des matériaux dotés de propriétés de résistance électrique idéales pour une utilisation dans les systèmes de chauffage par induction.Tous les composants finis sont accompagnés d’un certificat de pureté et de conformité dimensionnelle.

Notre entreprise fournitRevêtement SiCservices de traitement par méthode CVD sur la surface du graphite, de la céramique et d'autres matériaux, de sorte que des gaz spéciaux contenant du carbone et du silicium réagissent à haute température pour obtenir des molécules SiC de haute pureté, des molécules déposées sur la surface des matériaux revêtus, formant une couche protectrice SIC.Le SIC formé est fermement lié à la base de graphite, conférant à la base de graphite des propriétés spéciales, rendant ainsi la surface du graphite compacte, sans porosité, résistante aux hautes températures, à la corrosion et à l'oxydation.

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Le processus CVD offre une pureté extrêmement élevée et une densité théorique deRevêtement SiCsans porosité.De plus, comme le carbure de silicium est très dur, il peut être poli pour obtenir une surface semblable à un miroir.Revêtement CVD en carbure de silicium (SiC)offre plusieurs avantages, notamment une surface de très haute pureté et une durabilité extrême à l'usure.Étant donné que les produits revêtus ont d’excellentes performances sous vide poussé et à haute température, ils sont idéaux pour les applications dans l’industrie des semi-conducteurs et dans d’autres environnements ultra-propres.Nous fournissons également des produits en graphite pyrolytique (PG).

 

Caractéristiques principales

1. Résistance à l’oxydation à haute température :
la résistance à l'oxydation est encore très bonne lorsque la température atteint 1600 C.
2. Haute pureté : fabriqué par dépôt chimique en phase vapeur dans des conditions de chloration à haute température.
3. Résistance à l'érosion : dureté élevée, surface compacte, particules fines.
4. Résistance à la corrosion : acides, alcalis, sels et réactifs organiques.

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Principales spécifications des revêtements CVD-SIC

SiC-CVD
Densité (g/cc) 3.21
Résistance à la flexion (MPa) 470
Dilatation thermique (10-6/K) 4
Conductivité thermique (W/mK) 300

Application

Le revêtement CVD en carbure de silicium a déjà été appliqué dans les industries des semi-conducteurs, telles que les plateaux MOCVD, les RTP et les chambres de gravure d'oxyde, car le nitrure de silicium présente une grande résistance aux chocs thermiques et peut résister au plasma à haute énergie.
-Le carbure de silicium est largement utilisé dans les semi-conducteurs et les revêtements.

Application

Capacité d'approvisionnement:
10000 pièces/pièces par mois
Emballage et livraison :
Emballage : emballage standard et solide
Poly sac + Boîte + Carton + Palette
Port:
Ningbo/Shenzhen/Shanghai
Délai de mise en œuvre:

Quantité (pièces) 1 – 1000 >1000
HNE.Temps (jours) 15 A négocier
Lieu de travail Semicera
Lieu de travail Semicera 2
Machine d'équipement
Traitement CNN, nettoyage chimique, revêtement CVD
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