Semicerapalettes SiCsont conçus pour une dilatation thermique minimale, offrant stabilité et précision dans les processus où la précision dimensionnelle est essentielle. Cela les rend idéaux pour les applications oùplaquettessont soumis à des cycles répétés de chauffage et de refroidissement, car le bateau à plaquettes maintient son intégrité structurelle, garantissant des performances constantes.
Incorporation de Semicerapalettes de diffusion en carbure de siliciumdans votre ligne de production améliorera la fiabilité de votre procédé, grâce à leurs propriétés thermiques et chimiques supérieures. Ces palettes sont parfaites pour les processus de diffusion, d'oxydation et de recuit, garantissant que les plaquettes sont manipulées avec soin et précision à chaque étape.
L'innovation est au cœur de la stratégie de Semicerapagaie SiCconception. Ces palettes sont conçues pour s'intégrer parfaitement aux équipements semi-conducteurs existants, offrant ainsi une efficacité de manipulation améliorée. La structure légère et la conception ergonomique améliorent non seulement le transport des plaquettes, mais réduisent également les temps d'arrêt opérationnels, ce qui se traduit par une production rationalisée.
| Propriétés physiques du carbure de silicium recristallisé | |
| Propriété | Valeur typique |
| Température de travail (°C) | 1600°C (avec oxygène), 1700°C (environnement réducteur) |
| Contenu SiC | > 99,96% |
| Contenu Si gratuit | < 0,1% |
| Densité apparente | 2,60-2,70 g/cm3 |
| Porosité apparente | < 16% |
| Résistance à la compression | > 600 MPa |
| Résistance à la flexion à froid | 80-90 MPa (20°C) |
| Résistance à la flexion à chaud | 90-100 MPa (1 400 °C) |
| Dilatation thermique à 1 500 °C | 4,70 10-6/°C |
| Conductivité thermique à 1200°C | 23 W/m•K |
| Module élastique | 240 GPa |
| Résistance aux chocs thermiques | Extrêmement bien |
