Supports de revêtement SiC pour la gravure de semi-conducteurs

Brève description :

Semicera Semiconductor Technology Co., Ltd. est l’un des principaux fournisseurs de céramiques semi-conductrices avancées. Nos principaux produits comprennent : des disques gravés en carbure de silicium, des remorques de bateaux en carbure de silicium, des navires à plaquettes en carbure de silicium (PV et semi-conducteurs), des tubes de four en carbure de silicium, des palettes en porte-à-faux en carbure de silicium, des mandrins en carbure de silicium, des poutres en carbure de silicium, ainsi que des revêtements CVD SiC et Revêtements TaC.

Les produits sont principalement utilisés dans les industries des semi-conducteurs et du photovoltaïque, telles que les équipements de croissance cristalline, d'épitaxie, de gravure, d'emballage, de revêtement et de diffusion.

 

 


Détail du produit

Mots clés du produit

Description

Notre société fournit des services de processus de revêtement SiC par méthode CVD sur la surface du graphite, de la céramique et d'autres matériaux, de sorte que des gaz spéciaux contenant du carbone et du silicium réagissent à haute température pour obtenir des molécules SiC de haute pureté, des molécules déposées à la surface des matériaux revêtus, formant une couche protectrice SIC.

Principales caractéristiques

1. Résistance à l’oxydation à haute température :
la résistance à l'oxydation est encore très bonne lorsque la température atteint 1600 C.
2. Haute pureté : fabriqué par dépôt chimique en phase vapeur dans des conditions de chloration à haute température.
3. Résistance à l'érosion : dureté élevée, surface compacte, particules fines.
4. Résistance à la corrosion : acides, alcalis, sels et réactifs organiques.

Principales spécifications du revêtement CVD-SIC

Propriétés SiC-CVD

Structure cristalline Phase β du FCC
Densité g/cm³ 3.21
Dureté Dureté Vickers 2500
Taille des grains µm 2~10
Pureté chimique % 99.99995
Capacité thermique J·kg-1 ·K-1 640
Température de sublimation 2700
Force de flexion MPa (RT 4 points) 415
Module de Young Gpa (courbure 4pt, 1300℃) 430
Expansion thermique (CTE) 10-6K-1 4.5
Conductivité thermique (W/mK) 300
Lieu de travail Semicera
Lieu de travail Semicera 2
Machine d'équipement
Traitement CNN, nettoyage chimique, revêtement CVD
Notre prestation

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