Plaquette de carbure de siliciumest composé de poudre de silicium de haute pureté et de poudre de carbone de haute pureté comme matières premières, et le cristal de carbure de silicium est cultivé par la méthode de transfert physique de vapeur (PVT) et transformé enplaquette de carbure de silicium.
① Synthèse des matières premières.De la poudre de silicium de haute pureté et de la poudre de carbone de haute pureté ont été mélangées selon un certain rapport, et des particules de carbure de silicium ont été synthétisées à haute température supérieure à 2 000 ℃.Après concassage, nettoyage et autres processus, les matières premières en poudre de carbure de silicium de haute pureté qui répondent aux exigences de la croissance cristalline sont préparées.
② Croissance cristalline.En utilisant de la poudre SIC de haute pureté comme matière première, le cristal a été cultivé par la méthode de transfert physique de vapeur (PVT) à l'aide d'un four de croissance cristalline développé par nous-mêmes.
③ traitement des lingots.Le lingot de cristal de carbure de silicium obtenu a été orienté par un orienteur monocristallin à rayons X, puis broyé et laminé, et transformé en cristal de carbure de silicium de diamètre standard.
④ Découpe de cristal.À l'aide d'un équipement de coupe multiligne, les cristaux de carbure de silicium sont découpés en fines feuilles d'une épaisseur ne dépassant pas 1 mm.
⑤ Broyage des copeaux.La plaquette est meulée à la planéité et à la rugosité souhaitées par des fluides de meulage diamantés de différentes tailles de particules.
⑥ Polissage des copeaux.Le carbure de silicium poli sans dommage de surface a été obtenu par polissage mécanique et polissage mécano-chimique.
⑦ Détection de puce.Utilisez un microscope optique, un diffractomètre à rayons X, un microscope à force atomique, un testeur de résistivité sans contact, un testeur de planéité de surface, un testeur complet de défauts de surface et d'autres instruments et équipements pour détecter la densité des microtubules, la qualité des cristaux, la rugosité de surface, la résistivité, la déformation, la courbure, changement d'épaisseur, rayures de surface et autres paramètres de la plaquette de carbure de silicium.Cela détermine le niveau de qualité de la puce.
⑧ Nettoyage des copeaux.La feuille de polissage en carbure de silicium est nettoyée avec un agent de nettoyage et de l'eau pure pour éliminer le liquide de polissage résiduel et autres saletés de surface sur la feuille de polissage, puis la plaquette est soufflée et secouée par de l'azote ultra-haute pureté et une machine de séchage ;La tranche est encapsulée dans une boîte en feuille propre dans une chambre ultra-propre pour former une tranche de carbure de silicium prête à l'emploi en aval.
Plus la taille de la puce est grande, plus la technologie de croissance et de traitement des cristaux correspondante est difficile, et plus l'efficacité de fabrication des dispositifs en aval est élevée, plus le coût unitaire est faible.
Heure de publication : 24 novembre 2023