Suscepteur en graphite avec revêtement en carbure de silicium, 6 pièces de support de plaquette de 6 pouces

Le suscepteur de graphite avecRevêtement en carbure de silicium, 6 piècesSupport de plaquette de 6 poucesde semicera offre une durabilité et une conductivité thermique exceptionnelles pour les applications de croissance épitaxiale haute performance. Semicera se spécialise dans les suscepteurs avancés conçus pour améliorer des processus tels queSi EpitaxieetEpitaxie SiC, garantissant des performances fiables dans les environnements exigeants en matière de semi-conducteurs.

Ce suscepteur est spécialement conçu pour être utilisé avecSuscepteur MOCVDsystèmes et offre une compatibilité avec divers supports tels que le PSS Etching Carrier, l'ICP Etching Carrier et le RTP Carrier. Il est idéal pour la production de silicium monocristallin et les configurations de suscepteurs épitaxiaux à LED, offrant une polyvalence dans différentes configurations, y compris les conceptions de suscepteurs en baril et de suscepteurs en crêpe.

Le suscepteur en graphite avec revêtement en carbure de silicium prend également en charge les applications dans le secteur de l'énergie solaire grâce à son intégration avec les pièces photovoltaïques et excelle dans les processus d'épitaxie GaN sur SiC. Sa capacité de support de tranche de 6 pouces garantit un débit élevé, ce qui en fait un outil essentiel pour les fabricants des industries des semi-conducteurs et du photovoltaïque.