Les substrats GaAs sont divisés en conducteurs et semi-isolants, qui sont largement utilisés dans les lasers (LD), les diodes électroluminescentes (LED) à semi-conducteur, les lasers proche infrarouge, les lasers haute puissance à puits quantiques et les panneaux solaires à haut rendement. Puces HEMT et HBT pour ordinateurs et communications optiques radar, micro-ondes, à ondes millimétriques ou ultra-rapides ; Appareils radiofréquence pour communication sans fil, 4G, 5G, communication par satellite, WLAN.
Récemment, les substrats en arséniure de gallium ont également fait de grands progrès dans les mini-LED, les micro-LED et les LED rouges, et sont largement utilisés dans les appareils portables AR/VR.
Diamètre | 50 mm | 75 mm | 100 mm | 150mm |
Méthode de croissance | LEC液封直拉法 |
Épaisseur de la plaquette | 350 um ~ 625 um |
Orientation | <100> / <111> / <110> ou autres |
Type conducteur | Type P / Type N / Semi-isolant |
Type/Dopant | Zn / Si / non dopé |
Concentration de transporteur | 1E17 ~ 5E19 cm-3 |
Résistivité à TA | ≥1E7 pour SI |
Mobilité | ≥4000 |
EPD (densité de la fosse de gravure) | 100~1E5 |
TTV | ≤ 10 um |
Arc / Chaîne | ≤ 20 um |
Finition de surface | DSP/SSP |
Marquage laser |
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Grade | Qualité polie épi / qualité mécanique |