Bras de manipulation de plaquettesest un équipement clé utilisé dans le processus de fabrication des semi-conducteurs pour manipuler, transférer et positionnerplaquettes. Il se compose généralement d’un bras robotique, d’une pince et d’un système de contrôle, dotés de capacités de mouvement et de positionnement précis.Bras de manipulation de plaquettessont largement utilisés dans divers maillons de la fabrication de semi-conducteurs, y compris les étapes de processus telles que le chargement des tranches, le nettoyage, le dépôt de couches minces, la gravure, la lithographie et l'inspection. Ses capacités de précision, de fiabilité et d’automatisation sont essentielles pour garantir la qualité, l’efficacité et la cohérence du processus de production.
Les principales fonctions du bras de manipulation de plaquettes comprennent :
1. Transfert de plaquettes : le bras de manipulation de plaquettes est capable de transférer avec précision des plaquettes d'un emplacement à un autre, par exemple en les sortant d'un rack de stockage et en les plaçant dans un dispositif de traitement.
2. Positionnement et orientation : Le bras de manipulation des plaquettes est capable de positionner et d'orienter avec précision la plaquette pour garantir un alignement et une position corrects pour les opérations de traitement ou de mesure ultérieures.
3. Serrage et libération : les bras de manipulation des plaquettes sont généralement équipés de pinces capables de serrer les plaquettes en toute sécurité et de les libérer si nécessaire pour garantir un transfert et une manipulation en toute sécurité des plaquettes.
4. Contrôle automatisé : Le bras de manipulation des plaquettes est équipé d'un système de contrôle avancé qui peut exécuter automatiquement des séquences d'actions prédéterminées, améliorer l'efficacité de la production et réduire les erreurs humaines.
Caractéristiques et avantages
1. Dimensions précises et stabilité thermique.
2. Rigidité spécifique élevée et excellente uniformité thermique, l'utilisation à long terme n'est pas facile à plier et à déformer.
3. Il a une surface lisse et une bonne résistance à l'usure, manipulant ainsi la puce en toute sécurité sans contamination par des particules.
4. Résistivité du carbure de silicium en 106-108Ω, non magnétique, conforme aux exigences des spécifications anti-ESD ; Cela peut empêcher l’accumulation d’électricité statique à la surface de la puce.
5. Bonne conductivité thermique, faible coefficient de dilatation.
