Revêtements en carbure de tantale (TaC) de haute pureté, stabilité à haute température et haute résistance chimique

Brève description :

Le revêtement TaC est une nouvelle génération de matériau résistant aux hautes températures, avec une meilleure stabilité à haute température que le SiC, servant de revêtement résistant à la corrosion, à l'oxydation et à l'usure, peut être utilisé dans un environnement supérieur à 2000 ℃, largement utilisé dans pièces d'extrémité chaude à ultra-haute température aérospatiale, la troisième génération de croissance monocristalline semi-conductrice et d'autres domaines.

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Détail du produit

Mots clés du produit

Semicera fournit des revêtements spécialisés en carbure de tantale (TaC) pour divers composants et supports.Le procédé de revêtement de pointe Semicera permet aux revêtements en carbure de tantale (TaC) d'atteindre une pureté élevée, une stabilité à haute température et une tolérance chimique élevée, améliorant ainsi la qualité des produits des cristaux SIC/GAN et des couches EPI (Suscepteur TaC recouvert de graphite) et prolonger la durée de vie des composants clés du réacteur. L'utilisation du revêtement TaC en carbure de tantale vise à résoudre le problème des bords et à améliorer la qualité de la croissance cristalline, et Semicera a résolu de manière révolutionnaire la technologie de revêtement en carbure de tantale (CVD), atteignant le niveau avancé international.

Après des années de développement, Semicera a conquis la technologie deTaC MCVavec les efforts conjoints du département R&D. Il est facile de constater des défauts lors du processus de croissance des plaquettes SiC, mais après utilisationTaC, la différence est significative. Vous trouverez ci-dessous une comparaison des plaquettes avec et sans TaC, ainsi que des pièces Semicera pour la croissance monocristalline.

Pièce Tac pour monocristal de croissance

Revêtement anti-usure en carbure de tantale_ Protège l'équipement de l'usure et de la corrosion.

Graphite avec anneau recouvert de TaC

avec et sans TaC

Après avoir utilisé TaC (à droite)

De plus, la durée de vie des produits de revêtement TaC de Semicera est plus longue et plus résistante aux températures élevées que celle du revêtement SiC. Après une longue période de mesures en laboratoire, notre TaC peut fonctionner longtemps à une température maximale de 2300 degrés Celsius. Voici quelques-uns de nos échantillons :