Plaque de support de suscepteur revêtue de carbure de tantaleest un suscepteur ou une structure de support recouverte d'une fine couche decarbure de tantale. Ce revêtement peut être formé sur la surface du suscepteur par des techniques telles que le dépôt physique en phase vapeur (PVD) ou le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), conférant au suscepteur les propriétés supérieures decarbure de tantale.
Semicera fournit des revêtements spécialisés en carbure de tantale (TaC) pour divers composants et supports.Le procédé de revêtement de pointe Semicera permet aux revêtements en carbure de tantale (TaC) d'atteindre une pureté élevée, une stabilité à haute température et une tolérance chimique élevée, améliorant ainsi la qualité des produits des cristaux SIC/GAN et des couches EPI (Suscepteur TaC recouvert de graphite) et prolonger la durée de vie des composants clés du réacteur. L'utilisation du revêtement TaC en carbure de tantale vise à résoudre le problème des bords et à améliorer la qualité de la croissance cristalline, et Semicera a résolu de manière révolutionnaire la technologie de revêtement en carbure de tantale (CVD), atteignant le niveau avancé international.
Après des années de développement, Semicera a conquis la technologie deTaC MCVavec les efforts conjoints du département R&D. Il est facile de constater des défauts lors du processus de croissance des plaquettes SiC, mais après utilisationTaC, la différence est significative. Vous trouverez ci-dessous une comparaison des plaquettes avec et sans TaC, ainsi que des pièces Simicera pour la croissance monocristalline.
Les principales caractéristiques des plaques de support à base de carbure de tantale comprennent :
1. Stabilité à haute température : le carbure de tantale a une excellente stabilité à haute température, ce qui rend la plaque de support de base revêtue adaptée aux besoins de support dans des environnements de travail à haute température.
2. Résistance à la corrosion : le revêtement en carbure de tantale a une bonne résistance à la corrosion, peut résister à la corrosion chimique et à l'oxydation et prolonger la durée de vie de la base.
3. Dureté et résistance à l'usure élevées : la dureté élevée du revêtement en carbure de tantale confère à la plaque de support de base une bonne résistance à l'usure, ce qui convient aux occasions nécessitant une résistance élevée à l'usure.
4. Stabilité chimique : le carbure de tantale présente une grande stabilité face à une variété de substances chimiques, ce qui permet à la plaque de support de base revêtue de bien fonctionner dans certains environnements corrosifs.
avec et sans TaC
Après avoir utilisé TaC (à droite)
De plus, SemiceraProduits revêtus de TaCprésentent une durée de vie plus longue et une plus grande résistance aux températures élevées par rapport àRevêtements SiC.Des mesures en laboratoire ont démontré que notreRevêtements TaCpeut fonctionner de manière constante à des températures allant jusqu'à 2 300 degrés Celsius pendant de longues périodes. Vous trouverez ci-dessous quelques exemples de nos échantillons :
