Feuille de graphite revêtue de carbure de tantaleest un matériau de graphite avec une fine couche decarbure de tantaleà la surface du substrat. La fine couche de carbure de tantale est généralement formée sur la surface du substrat en graphite par des techniques telles que le dépôt physique en phase vapeur (PVD) ou le dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Ce revêtement possède d'excellentes propriétés telles qu'une dureté élevée, une excellente résistance à l'usure, une résistance à la corrosion et une stabilité à haute température.
Semicera fournit des revêtements spécialisés en carbure de tantale (TaC) pour divers composants et supports.Le procédé de revêtement de pointe Semicera permet aux revêtements en carbure de tantale (TaC) d'atteindre une pureté élevée, une stabilité à haute température et une tolérance chimique élevée, améliorant ainsi la qualité des produits des cristaux SIC/GAN et des couches EPI (Suscepteur TaC recouvert de graphite) et prolonger la durée de vie des composants clés du réacteur. L'utilisation du revêtement TaC en carbure de tantale vise à résoudre le problème des bords et à améliorer la qualité de la croissance cristalline, et Semicera a résolu de manière révolutionnaire la technologie de revêtement en carbure de tantale (CVD), atteignant le niveau avancé international.
Après des années de développement, Semicera a conquis la technologie deTaC MCVavec les efforts conjoints du département R&D. Il est facile de constater des défauts lors du processus de croissance des plaquettes SiC, mais après utilisationTaC, la différence est significative. Vous trouverez ci-dessous une comparaison des plaquettes avec et sans TaC, ainsi que des pièces Simicera pour la croissance monocristalline.
Les principaux avantages de la feuille de graphite revêtue de carbure de tantale comprennent :
1. Résistance à haute température : le carbure de tantale a un point de fusion élevé et une excellente stabilité à haute température, ce qui rend la feuille de graphite revêtue adaptée à une utilisation dans des environnements à haute température.
2. Résistance à la corrosion : le revêtement en carbure de tantale peut résister à l'érosion de nombreuses substances chimiques corrosives et prolonger la durée de vie du matériau.
3. Dureté élevée : la dureté élevée de la fine couche de carbure de tantale offre une bonne résistance à l'usure et convient aux applications nécessitant une résistance élevée à l'usure.
4. Stabilité chimique : Le revêtement en carbure de tantale présente une excellente stabilité à la corrosion chimique et convient à une utilisation dans certains milieux corrosifs.
avec et sans TaC
Après avoir utilisé TaC (à droite)
De plus, SemiceraProduits revêtus de TaCprésentent une durée de vie plus longue et une plus grande résistance aux températures élevées par rapport àRevêtements SiC.Des mesures en laboratoire ont démontré que notreRevêtements TaCpeut fonctionner de manière constante à des températures allant jusqu'à 2 300 degrés Celsius pendant de longues périodes. Vous trouverez ci-dessous quelques exemples de nos échantillons :
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