Semicera fournit des revêtements spécialisés en carbure de tantale (TaC) pour divers composants et supports.Le procédé de revêtement de pointe Semicera permet aux revêtements en carbure de tantale (TaC) d'atteindre une pureté élevée, une stabilité à haute température et une tolérance chimique élevée, améliorant ainsi la qualité des produits des cristaux SIC/GAN et des couches EPI (Suscepteur TaC recouvert de graphite) et prolonger la durée de vie des composants clés du réacteur. L'utilisation du revêtement TaC en carbure de tantale vise à résoudre le problème des bords et à améliorer la qualité de la croissance cristalline, et Semicera a résolu de manière révolutionnaire la technologie de revêtement en carbure de tantale (CVD), atteignant le niveau avancé international.
Les supports de tranches revêtus de carbure de tantale sont largement utilisés dans les processus de traitement et de manipulation des tranches dans les processus de fabrication de semi-conducteurs. Ils offrent un support et une protection stables pour garantir la sécurité, la précision et la cohérence des plaquettes pendant le processus de fabrication. Les revêtements en carbure de tantale peuvent prolonger la durée de vie du support, réduire les coûts et améliorer la qualité et la fiabilité des produits semi-conducteurs.
La description du support de plaquette revêtue de carbure de tantale est la suivante :
1. Sélection des matériaux : le carbure de tantale est un matériau doté d'excellentes performances, d'une dureté élevée, d'un point de fusion élevé, d'une résistance à la corrosion et d'excellentes propriétés mécaniques, il est donc largement utilisé dans le processus de fabrication de semi-conducteurs.
2. Revêtement de surface : le revêtement en carbure de tantale est appliqué sur la surface du support de plaquette via un processus de revêtement spécial pour former un revêtement en carbure de tantale uniforme et dense. Ce revêtement peut offrir une protection et une résistance à l'usure supplémentaires, tout en ayant une bonne conductivité thermique.
3. Planéité et précision : le support de plaquette revêtu de carbure de tantale présente un haut degré de planéité et de précision, garantissant la stabilité et la précision des plaquettes pendant le processus de fabrication. La planéité et la finition de la surface du support sont essentielles pour garantir la qualité et les performances de la plaquette.
4. Stabilité de la température : les supports de plaquettes revêtus de carbure de tantale peuvent maintenir la stabilité dans des environnements à haute température sans déformation ni desserrage, garantissant ainsi la stabilité et la cohérence des plaquettes dans les processus à haute température.
5. Résistance à la corrosion : les revêtements en carbure de tantale ont une excellente résistance à la corrosion, peuvent résister à l'érosion des produits chimiques et des solvants et protéger le support de la corrosion des liquides et des gaz.
avec et sans TaC
Après avoir utilisé TaC (à droite)
De plus, SemiceraProduits revêtus de TaCprésentent une durée de vie plus longue et une plus grande résistance aux températures élevées par rapport àRevêtements SiC.Des mesures en laboratoire ont démontré que notreRevêtements TaCpeut fonctionner de manière constante à des températures allant jusqu'à 2 300 degrés Celsius pendant de longues périodes. Vous trouverez ci-dessous quelques exemples de nos échantillons :
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Plaque planétaire avec revêtement en carbure de tantale (TaC)
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Pièces personnalisées de revêtement CVD TaC en carbure de tantale
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Réchauffeur MOCVD en carbure de tantale
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Couvercles recouverts de carbure de tantale
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Plaque de support de socle à revêtement en carbure de tantale
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Suscepteur de plaquette de revêtement CVD TaC en carbure de tantale