La plaque revêtue TaC est un disque spécialisé conçu pour être utilisé dans les processus épitaxiaux SiC, fabriqué avec précision à partir d'un matériau graphite de haute qualité. Sa surface est méticuleusement recouverte de carbure de tantale (TaC), un composé connu pour sa pureté et sa résistance exceptionnelles. Le revêtement TaC améliore la durabilité et la résistance de la plaque aux températures élevées, la rendant idéale pour les conditions exigeantes des processus épitaxiaux SiC.
Cette plaque innovante à revêtement TaC est un disque spécialisé conçu pour être utilisé dans les processus épitaxiaux SiC, fabriqué avec précision à partir d'un matériau graphite de haute qualité. La surface de la plaque revêtue de TaC est méticuleusement recouverte de carbure de tantale (TaC), un composé connu pour sa pureté et sa résistance exceptionnelles. sert de plate-forme fiable pour transporter des tranches pendant différentes étapes de croissance épitaxiale du SiC. Sa base en graphite de haute pureté offre une surface stable et inerte, tandis que le revêtement TaC ajoute une couche supplémentaire de protection contre les réactions chimiques et l'usure.
SémitiqueèreLa plaque revêtue TaC est personnalisée en fonction des exigences spécifiques des clients, garantissant des performances et une compatibilité optimales avec leurs systèmes épitaxiaux SiC. Qu'il s'agisse de taille, de forme ou d'autres spécifications, ces plaques sont conçues pour répondre aux besoins uniques de chaque application.
avec et sans TaC
Après avoir utilisé TaC (à droite)
De plus, SemiceraProduits revêtus de TaCprésentent une durée de vie plus longue et une plus grande résistance aux températures élevées par rapport àRevêtements SiC.Des mesures en laboratoire ont démontré que notreRevêtements TaCpeut fonctionner de manière constante à des températures allant jusqu'à 2 300 degrés Celsius pendant de longues périodes. Vous trouverez ci-dessous quelques exemples de nos échantillons :
