revêtement TaCest un revêtement de matériau important, qui est généralement préparé sur une base de graphite par la technologie de dépôt chimique en phase vapeur organométallique (MOCVD). Ce revêtement possède d'excellentes propriétés, telles qu'une dureté élevée, une excellente résistance à l'usure, une résistance aux températures élevées et une stabilité chimique, et convient à diverses applications techniques à forte demande.
La technologie MOCVD est une technologie de croissance de couches minces couramment utilisée qui dépose le film composé souhaité sur la surface du substrat en faisant réagir des précurseurs organométalliques avec des gaz réactifs à haute température. Lors de la préparationrevêtement TaC, en sélectionnant les précurseurs organométalliques et les sources de carbone appropriés, en contrôlant les conditions de réaction et les paramètres de dépôt, un film de TaC uniforme et dense peut être déposé sur une base de graphite.
Semicera fournit des revêtements spécialisés en carbure de tantale (TaC) pour divers composants et supports.Le procédé de revêtement de pointe Semicera permet aux revêtements en carbure de tantale (TaC) d'atteindre une pureté élevée, une stabilité à haute température et une tolérance chimique élevée, améliorant ainsi la qualité des produits des cristaux SIC/GAN et des couches EPI (Suscepteur TaC recouvert de graphite) et prolonger la durée de vie des composants clés du réacteur. L'utilisation du revêtement TaC en carbure de tantale vise à résoudre le problème des bords et à améliorer la qualité de la croissance cristalline, et Semicera a résolu de manière révolutionnaire la technologie de revêtement en carbure de tantale (CVD), atteignant le niveau avancé international.
Après des années de développement, Semicera a conquis la technologie deTaC MCVavec les efforts conjoints du département R&D. Il est facile de constater des défauts lors du processus de croissance des plaquettes SiC, mais après utilisationTaC, la différence est significative. Vous trouverez ci-dessous une comparaison des plaquettes avec et sans TaC, ainsi que des pièces Simicera pour la croissance monocristalline.
avec et sans TaC
Après avoir utilisé TaC (à droite)
De plus, SemiceraProduits revêtus de TaCprésentent une durée de vie plus longue et une plus grande résistance aux températures élevées par rapport àRevêtements SiC.Des mesures en laboratoire ont démontré que notreRevêtements TaCpeut fonctionner de manière constante à des températures allant jusqu'à 2 300 degrés Celsius pendant de longues périodes. Vous trouverez ci-dessous quelques exemples de nos échantillons :
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Anneau recouvert de carbure de tantale (TaC)
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Demi-lune supérieure recouverte de carbure de tantale CVD
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Solution de carbure de tantale
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Anneau de guidage de revêtement CVD en carbure de tantale
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Plaque de support de socle à revêtement en carbure de tantale
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Anneau en graphite recouvert de carbure de tantale (TaC)