Suscepteur revêtu de carbure de tantale (TaC) pour équipement d'épitaxie

Brève description :

Le graphite est un excellent matériau résistant aux températures élevées, mais il s'oxyde facilement à haute température. Même dans des fours sous vide avec gaz inerte, il peut encore subir une lente oxydation. L'utilisation d'un revêtement CVD en carbure de tantale (TaC) peut protéger efficacement le substrat en graphite, offrant la même résistance aux hautes températures que le graphite. Le TaC est également un matériau inerte, ce qui signifie qu'il ne réagira pas avec des gaz tels que l'argon ou l'hydrogène à haute température.Suscepteur revêtu de carbure de tantale (TaC) pour équipement d'épitaxie maintenant!

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Détail du produit

Mots clés du produit

Semicera fournit des revêtements spécialisés en carbure de tantale (TaC) pour divers composants et supports.Le procédé de revêtement de pointe Semicera permet aux revêtements en carbure de tantale (TaC) d'atteindre une pureté élevée, une stabilité à haute température et une tolérance chimique élevée, améliorant ainsi la qualité des produits des cristaux SIC/GAN et des couches EPI (Suscepteur TaC recouvert de graphite) et prolonger la durée de vie des composants clés du réacteur. L'utilisation du revêtement TaC en carbure de tantale vise à résoudre le problème des bords et à améliorer la qualité de la croissance cristalline, et Semicera a résolu de manière révolutionnaire la technologie de revêtement en carbure de tantale (CVD), atteignant le niveau avancé international.

Après des années de développement, Semicera a conquis la technologie deTaC MCVavec les efforts conjoints du département R&D. Il est facile de constater des défauts lors du processus de croissance des plaquettes SiC, mais après utilisationTaC, la différence est significative. Vous trouverez ci-dessous une comparaison des plaquettes avec et sans TaC, ainsi que des pièces Simicera pour la croissance monocristalline.

Le revêtement en carbure de tantale à haute efficacité améliore l'efficacité de la production industrielle et réduit les coûts de maintenance.

Pièce Tac pour monocristal de croissance

Revêtement anti-usure en carbure de tantale_ Protège l'équipement de l'usure et de la corrosion.

Graphite avec anneau recouvert de TaC

avec et sans TaC

Après avoir utilisé TaC (à droite)

De plus, SemiceraProduits revêtus de TaCprésentent une durée de vie plus longue et une plus grande résistance aux températures élevées par rapport àRevêtements SiC.Des mesures en laboratoire ont démontré que notreRevêtements TaCpeut fonctionner de manière constante à des températures allant jusqu'à 2 300 degrés Celsius pendant de longues périodes. Vous trouverez ci-dessous quelques exemples de nos échantillons :