Anneaux de guidage en graphite revêtus de TaCfaire référence au dépôt d’une fine couche decarbure de tantalesur la surface d'un anneau de guidage en graphite pour améliorer sa résistance à l'usure, sa résistance aux températures élevées et sa stabilité chimique. Ce revêtement est généralement formé sur la surface d'un anneau de guidage en graphite par des techniques telles que le dépôt physique en phase vapeur (PVD) ou le dépôt chimique en phase vapeur (CVD).
Semicera fournit des revêtements spécialisés en carbure de tantale (TaC) pour divers composants et supports.Le procédé de revêtement de pointe Semicera permet aux revêtements en carbure de tantale (TaC) d'atteindre une pureté élevée, une stabilité à haute température et une tolérance chimique élevée, améliorant ainsi la qualité des produits des cristaux SIC/GAN et des couches EPI (Suscepteur TaC recouvert de graphite) et prolonger la durée de vie des composants clés du réacteur. L'utilisation du revêtement TaC en carbure de tantale vise à résoudre le problème des bords et à améliorer la qualité de la croissance cristalline, et Semicera a résolu de manière révolutionnaire la technologie de revêtement en carbure de tantale (CVD), atteignant le niveau avancé international.
Après des années de développement, Semicera a conquis la technologie deTaC MCVavec les efforts conjoints du département R&D. Il est facile de constater des défauts lors du processus de croissance des plaquettes SiC, mais après utilisationTaC, la différence est significative. Vous trouverez ci-dessous une comparaison des plaquettes avec et sans TaC, ainsi que des pièces Simicera pour la croissance monocristalline.
Les principales caractéristiques des anneaux de guidage en graphite revêtus de TaC sont les suivantes :
1. Résistance à haute température : le revêtement TaC a une excellente stabilité à haute température et peut maintenir la stabilité dans des environnements à haute température.
2. Résistance à l'usure : la dureté élevée de la fine couche de carbure de tantale confère à l'anneau de guidage une bonne résistance à l'usure et prolonge sa durée de vie.
3. Stabilité chimique : le revêtement TaC présente une grande stabilité contre la corrosion chimique, ce qui le rend adapté aux applications dans certains milieux corrosifs.
4. Réduire la friction : le revêtement TaC peut réduire efficacement la friction entre la bague de guidage en graphite et d'autres composants et améliorer l'efficacité des joints mécaniques.
avec et sans TaC
Après avoir utilisé TaC (à droite)
De plus, SemiceraProduits revêtus de TaCprésentent une durée de vie plus longue et une plus grande résistance aux températures élevées par rapport àRevêtements SiC.Des mesures en laboratoire ont démontré que notreRevêtements TaCpeut fonctionner de manière constante à des températures allant jusqu'à 2 300 degrés Celsius pendant de longues périodes. Vous trouverez ci-dessous quelques exemples de nos échantillons :
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Demi-lune supérieure recouverte de carbure de tantale CVD
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Suscepteur de plaquette de revêtement CVD TaC en carbure de tantale
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Anneau enduit d'usure en carbure de tantale
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Anneau de dérivation avec revêtement en carbure de tantale
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Suscepteur de plaquette revêtu de carbure de tantale
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Anneau segmenté avec revêtement TaC