Revêtement TaCLa base en graphite LED ultraviolet profond fait référence au processus d'amélioration des performances et de la stabilité de l'appareil en déposant unrevêtement TaCsur la base en graphite lors de la préparation du dispositif LED à ultraviolet profond. Ce revêtement peut améliorer les performances de dissipation thermique, la résistance aux températures élevées et la résistance à l'oxydation du dispositif, améliorant ainsi l'efficacité et la fiabilité du dispositif LED. Les appareils LED à ultraviolet profond sont généralement utilisés dans certains domaines spéciaux, tels que la désinfection, la photopolymérisation, etc., qui ont des exigences élevées en matière de stabilité et de performances de l'appareil. L'application deGraphite revêtu de TaCLa base peut améliorer efficacement la durabilité et les performances de l'appareil, fournissant un soutien important pour le développement de la technologie LED ultraviolette profonde.
Semicera fournit des revêtements spécialisés en carbure de tantale (TaC) pour divers composants et supports.Le procédé de revêtement de pointe Semicera permet aux revêtements en carbure de tantale (TaC) d'atteindre une pureté élevée, une stabilité à haute température et une tolérance chimique élevée, améliorant ainsi la qualité des produits des cristaux SIC/GAN et des couches EPI (Suscepteur TaC recouvert de graphite) et prolonger la durée de vie des composants clés du réacteur. L'utilisation du revêtement TaC en carbure de tantale vise à résoudre le problème des bords et à améliorer la qualité de la croissance cristalline, et Semicera a résolu de manière révolutionnaire la technologie de revêtement en carbure de tantale (CVD), atteignant le niveau avancé international.
Après des années de développement, Semicera a conquis la technologie deTaC MCVavec les efforts conjoints du département R&D. Il est facile de constater des défauts lors du processus de croissance des plaquettes SiC, mais après utilisationTaC, la différence est significative. Vous trouverez ci-dessous une comparaison des plaquettes avec et sans TaC, ainsi que des pièces Simicera pour la croissance monocristalline.
avec et sans TaC
Après avoir utilisé TaC (à droite)
De plus, SemiceraProduits revêtus de TaCprésentent une durée de vie plus longue et une plus grande résistance aux températures élevées par rapport àRevêtements SiC.Des mesures en laboratoire ont démontré que notreRevêtements TaCpeut fonctionner de manière constante à des températures allant jusqu'à 2 300 degrés Celsius pendant de longues périodes. Vous trouverez ci-dessous quelques exemples de nos échantillons :
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Anneau de guidage de revêtement CVD en carbure de tantale
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Creuset de revêtement en carbure de tantale
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Demi-lune supérieure recouverte de carbure de tantale CVD
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Suscepteur de plaquette revêtu de carbure de tantale
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Anneau en graphite recouvert de carbure de tantale
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Plaque de support de socle à revêtement en carbure de tantale