Support de traitement PSS pour la transmission de plaquettes semi-conductrices

Brève description :

Le carbure de silicium est un nouveau type de céramique doté de performances élevées et d'excellentes propriétés matérielles. En raison de caractéristiques telles que la résistance et la dureté élevées, la résistance aux températures élevées, la grande conductivité thermique et la résistance à la corrosion chimique, le carbure de silicium peut presque résister à tous les milieux chimiques. Par conséquent, les SiC sont largement utilisés dans les mines de pétrole, les produits chimiques, les machines et l'espace aérien. Même l'énergie nucléaire et l'armée ont des exigences particulières en matière de SIC. Certaines applications normales que nous pouvons proposer sont les bagues d'étanchéité pour pompe, vanne et armure de protection, etc.

Nous sommes en mesure de concevoir et de fabriquer selon vos dimensions spécifiques avec une bonne qualité et un délai de livraison raisonnable.

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Détail du produit

Mots clés du produit

Description du produit

Notre société fournit des services de processus de revêtement SiC par méthode CVD sur la surface du graphite, de la céramique et d'autres matériaux, de sorte que des gaz spéciaux contenant du carbone et du silicium réagissent à haute température pour obtenir des molécules SiC de haute pureté, des molécules déposées à la surface des matériaux revêtus, formant une couche protectrice SIC.

Principales caractéristiques :

1. Résistance à l’oxydation à haute température :

la résistance à l'oxydation est encore très bonne lorsque la température atteint 1600 C.

2. Haute pureté : fabriqué par dépôt chimique en phase vapeur dans des conditions de chloration à haute température.

3. Résistance à l'érosion : dureté élevée, surface compacte, particules fines.

4. Résistance à la corrosion : acides, alcalis, sels et réactifs organiques.

Principales spécifications du revêtement CVD-SIC

Propriétés SiC-CVD
Structure cristalline	Phase β du FCC
Densité	g/cm³	3.21
Dureté	Dureté Vickers	2500
Taille des grains	µm	2~10
Pureté chimique	%	99.99995
Capacité thermique	J·kg-1 ·K-1	640
Température de sublimation	℃	2700
Force de flexion	MPa (RT 4 points)	415
Module de Young	Gpa (courbure 4pt, 1300℃)	430
Expansion thermique (CTE)	10-6K-1	4.5
Conductivité thermique	(W/mK)	300