Description
Les supports de plaquettes Semicorex avec revêtement SiC offrent une stabilité thermique et une conductivité exceptionnelles, garantissant une distribution uniforme de la chaleur pendant les processus CVD, cruciale pour les caractéristiques de film mince et de revêtement de haute qualité.
Principales caractéristiques :
1. Stabilité thermique et conductivité exceptionnellesNos supports de tranches revêtus de SiC excellent dans le maintien de températures stables et constantes, cruciales pour les processus CVD. Cela garantit une répartition uniforme de la chaleur, conduisant à une qualité supérieure de film mince et de revêtement.
2. Fabrication de précisionChaque support de plaquette est fabriqué selon des normes rigoureuses, garantissant une épaisseur et une surface lisses uniformes. Cette précision est essentielle pour obtenir des taux de dépôt et des propriétés de film cohérents sur plusieurs tranches, améliorant ainsi la qualité globale de la fabrication.
3. Barrière contre les impuretésLe revêtement SiC agit comme une barrière imperméable, empêchant la diffusion des impuretés du suscepteur vers la plaquette. Cela minimise les risques de contamination, ce qui est essentiel pour produire des dispositifs semi-conducteurs de haute pureté.
4. Durabilité et rentabilitéLa construction robuste et le revêtement SiC améliorent la durabilité des supports de tranches, réduisant ainsi la fréquence de remplacement des suscepteurs. Cela entraîne une réduction des coûts de maintenance et des temps d'arrêt, augmentant ainsi l'efficacité des opérations de fabrication de semi-conducteurs.
5. Options de personnalisationLes supports de plaquettes Semicorex avec revêtement SiC peuvent être personnalisés pour répondre aux exigences spécifiques du processus, notamment les variations de taille, de forme et d'épaisseur de revêtement. Cette flexibilité permet d'optimiser le suscepteur pour répondre aux exigences uniques des différents processus de fabrication de semi-conducteurs. Les options de personnalisation permettent le développement de conceptions de suscepteurs adaptées à des applications spécialisées, telles que la fabrication en grand volume ou la recherche et développement, garantissant des performances optimales pour des cas d'utilisation spécifiques.
Applications :
Les supports de plaquettes Semicera avec revêtement SiC conviennent parfaitement pour :
• Croissance épitaxiale de matériaux semi-conducteurs
• Processus de dépôt chimique en phase vapeur (CVD)
• Production de plaquettes semi-conductrices de haute qualité
• Applications avancées de fabrication de semi-conducteurs
Spécifications techniques :
