SemiceraRevêtement céramique en carbure de siliciumest un revêtement de protection haute performance en carbure de silicium (SiC) extrêmement dur et résistant à l'usure. Le revêtement est généralement déposé sur la surface du substrat par procédé CVD ou PVD avecparticules de carbure de silicium, offrant une excellente résistance à la corrosion chimique et une stabilité à haute température. Par conséquent, le revêtement céramique en carbure de silicium est largement utilisé dans les composants clés des équipements de fabrication de semi-conducteurs.
Dans la fabrication de semi-conducteurs,Revêtement SiCpeut résister à des températures extrêmement élevées allant jusqu'à 1 600 °C, c'est pourquoi le revêtement céramique en carbure de silicium est souvent utilisé comme couche protectrice pour les équipements ou les outils afin d'éviter tout dommage à haute température ou dans des environnements corrosifs.
En même temps,revêtement céramique en carbure de siliciumpeut résister à l'érosion des acides, des alcalis, des oxydes et d'autres réactifs chimiques, et présente une résistance élevée à la corrosion par une variété de substances chimiques. Par conséquent, ce produit convient à divers environnements corrosifs de l’industrie des semi-conducteurs.
De plus, comparé à d’autres matériaux céramiques, le SiC a une conductivité thermique plus élevée et peut conduire efficacement la chaleur. Cette fonctionnalité détermine que dans les processus semi-conducteurs qui nécessitent un contrôle précis de la température, la conductivité thermique élevée deRevêtement céramique en carbure de siliciumaide à disperser uniformément la chaleur, à éviter une surchauffe locale et à garantir que l'appareil fonctionne à la température optimale.
| Propriétés physiques de base du revêtement CVD sic | |
| Propriété | Valeur typique |
| Structure cristalline | Phase β FCC polycristalline, principalement orientée (111) |
| Densité | 3,21 g/cm³ |
| Dureté | Dureté Vickers 2500 (charge de 500 g) |
| Taille des grains | 2~10μm |
| Pureté chimique | 99,99995% |
| Capacité thermique | 640 J·kg-1·K-1 |
| Température de sublimation | 2700 ℃ |
| Résistance à la flexion | 415 MPa RT 4 points |
| Module de Young | Courbure 430 Gpa 4pt, 1300℃ |
| Conductivité thermique | 300W·m-1·K-1 |
| Expansion thermique (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
