Description
Substrat chauffant MOCVD, éléments chauffants pour MOCVD
Chauffage au graphite :
Les composants chauffants en graphite sont utilisés dans le four à haute température avec une température atteignant 2 200 degrés dans un environnement sous vide et 3 000 degrés dans un environnement de gaz désoxydé et inséré.
Principales caractéristiques du radiateur en graphite
1. uniformité de la structure chauffante.
2. bonne conductivité électrique et charge électrique élevée.
3. résistance à la corrosion.
4. inoxydabilité.
5. haute pureté chimique.
6. haute résistance mécanique.
L'avantage est l'efficacité énergétique, la valeur élevée et la faible maintenance.
Nous pouvons produire des creusets en graphite anti-oxydation et à longue durée de vie, des moules en graphite et toutes les pièces du réchauffeur en graphite.
Graphite chimique
Avantage : résistance aux températures élevées
Application : MOCVD/four à vide/zone chaude
Densité apparente : 1,68-1,91 g/cm3
Résistance à la flexion : 30-46 Mpa
Résistivité : 7-12μΩm
Principaux paramètres du radiateur en graphite
| Spécification technique | VET-M3 |
| Densité apparente (g/cm3) | ≥1,85 |
| Teneur en cendres (PPM) | ≤500 |
| Dureté Shore | ≥45 |
| Résistance spécifique (μ.Ω.m) | ≤12 |
| Résistance à la flexion (Mpa) | ≥40 |
| Résistance à la compression (Mpa) | ≥70 |
| Max. Taille des grains (μm) | ≤43 |
| Coefficient de dilatation thermique Mm/°C | ≤4,4*10-6 |
Le radiateur en graphite pour four électrique présente des propriétés de résistance à la chaleur, de résistance à l'oxydation, de bonne conductivité électrique et de meilleure intensité mécanique. Nous pouvons usiner différents types de radiateurs en graphite selon les conceptions des clients.
Profil de l'entreprise
WeiTai Energy Technology Co., Ltd. est l'un des principaux fournisseurs de céramiques semi-conductrices avancées et le seul fabricant en Chine qui peut fournir simultanément de la céramique de carbure de silicium de haute pureté (en particulier le SiC recristallisé) et un revêtement SiC CVD. De plus, notre société s'engage également dans les domaines céramiques tels que l'alumine, le nitrure d'aluminium, la zircone et le nitrure de silicium, etc.
Nos principaux produits comprennent : disque de gravure en carbure de silicium, remorque de bateau en carbure de silicium, bateau à plaquettes en carbure de silicium (photovoltaïque et semi-conducteur), tube de four en carbure de silicium, palette en porte-à-faux en carbure de silicium, mandrins en carbure de silicium, poutre en carbure de silicium, ainsi que le revêtement CVD SiC et TaC. revêtement. Les produits principalement utilisés dans les industries des semi-conducteurs et du photovoltaïque, tels que les équipements de croissance cristalline, d'épitaxie, de gravure, d'emballage, de revêtement et de diffusion, etc.
Notre société dispose de l'équipement de production complet tel que l'équipement de moulage, de frittage, de traitement, de revêtement, etc., qui peut compléter tous les maillons nécessaires de la production de produits et avoir une plus grande contrôlabilité de la qualité du produit ; Le plan de production optimal peut être sélectionné en fonction des besoins du produit, ce qui entraîne une réduction des coûts et fournit aux clients des produits plus compétitifs ; Nous pouvons planifier la production de manière flexible et efficace en fonction des exigences de livraison des commandes et en conjonction avec des systèmes de gestion des commandes en ligne, offrant ainsi aux clients un délai de livraison plus rapide et plus garanti.
