Baril de réacteur épitaxial recouvert de carbure de silicium

Brève description :

Semicera est une entreprise de haute technologie engagée dans la recherche de matériaux depuis de nombreuses années, avec une équipe de R&D de premier plan et une R&D et une fabrication intégrées. Fournir un baril de réacteur épitaxial revêtu de carbure de silicium personnalisé pour discuter avec nos experts techniques de la manière d'obtenir les meilleures performances et un avantage commercial pour vos produits.

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Détail du produit

Mots clés du produit

Pourquoi le revêtement en carbure de silicium ?

Dans le domaine des semi-conducteurs, la stabilité de chaque composant est très importante pour l’ensemble du processus. Cependant, dans un environnement à haute température, le graphite s'oxyde et se perd facilement, et le revêtement SiC peut fournir une protection stable aux pièces en graphite. Dans leSemiceraéquipe, nous disposons de notre propre équipement de traitement de purification du graphite, qui peut contrôler la pureté du graphite en dessous de 5 ppm. La pureté du revêtement en carbure de silicium est inférieure à 0,5 ppm.

Notre avantage, pourquoi choisir Semicera ?

✓Qualité supérieure sur le marché chinois

✓Bon service toujours pour vous, 7*24 heures

✓Date de livraison courte

✓Petit MOQ bienvenu et accepté

✓Services personnalisés

Application

Suscepteur de croissance par épitaxie

Les plaquettes de silicium/carbure de silicium doivent passer par plusieurs processus pour être utilisées dans les appareils électroniques. Un procédé important est l'épitaxie silicium/sic, dans lequel des tranches de silicium/sic sont portées sur une base de graphite. Les avantages particuliers de la base de graphite recouverte de carbure de silicium de Semicera incluent une pureté extrêmement élevée, un revêtement uniforme et une durée de vie extrêmement longue. Ils présentent également une résistance chimique et une stabilité thermique élevées.

Suscepteur d'épitaxie de silicium

Suscepteur d'épitaxie en carbure de silicium

Production de puces LED

Lors du revêtement approfondi du réacteur MOCVD, la base ou support planétaire déplace la tranche de substrat. Les performances du matériau de base ont une grande influence sur la qualité du revêtement, qui à son tour affecte le taux de rebut des copeaux. La base recouverte de carbure de silicium de Semicera augmente l'efficacité de fabrication des plaquettes LED de haute qualité et minimise l'écart de longueur d'onde. Nous fournissons également des composants en graphite supplémentaires pour tous les réacteurs MOCVD actuellement utilisés. Nous pouvons revêtir presque n'importe quel composant avec un revêtement en carbure de silicium, même si le diamètre du composant peut atteindre 1,5 M, nous pouvons toujours revêtir du carbure de silicium.

Suscepteur d'épitaxie LED

Domaine des semi-conducteurs, processus de diffusion d'oxydation, Etc.

Dans le processus des semi-conducteurs, le processus d'oxydation-expansion nécessite une pureté de produit élevée, et chez Semicera, nous proposons des services de revêtement personnalisés et CVD pour la majorité des pièces en carbure de silicium.

L'image suivante montre la boue de carbure de silicium grossièrement traitée de Semicea et le tube du four en carbure de silicium qui est nettoyé au 1000-niveausans poussièrechambre. Nos ouvriers travaillent avant le revêtement. La pureté de notre carbure de silicium peut atteindre 99,99 % et la pureté du revêtement sic est supérieure à 99,99995 %.