Suscepteur de baril recouvert de carbure de silicium pour épitaxie de plaquettes

Suscepteur de baril recouvert de carbure de silicium pour l'épitaxie de tranches

Brève description :

Semicera propose une gamme complète de suscepteurs et de composants en graphite conçus pour divers réacteurs d'épitaxie.

Grâce à des partenariats stratégiques avec des équipementiers leaders du secteur, une vaste expertise en matériaux et des capacités de fabrication avancées, Semicera propose des conceptions sur mesure pour répondre aux exigences spécifiques de votre application. Notre engagement envers l’excellence garantit que vous recevez des solutions optimales pour vos besoins en réacteur d’épitaxie.

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Détail du produit

Mots clés du produit

Notre entreprise fournitRevêtement SiCservices de traitement sur la surface du graphite, de la céramique et d'autres matériaux par méthode CVD, de sorte que des gaz spéciaux contenant du carbone et du silicium puissent réagir à haute température pour obtenir des molécules Sic de haute pureté, qui peuvent être déposées sur la surface des matériaux revêtus pour former unCouche de protection SiCpour épitaxie de type baril hy pnotique.

Principales caractéristiques :

1. Graphite enduit de SiC de haute pureté

2. Résistance thermique supérieure et uniformité thermique

3. BienRevêtement en cristal SiCpour une surface lisse

4. Haute durabilité contre le nettoyage chimique

Suscepteur à baril recouvert de SiC pour l'épitaxie de plaquettes

Principales spécifications deRevêtement CVD-SIC

Propriétés SiC-CVD
Structure cristalline	Phase β du FCC
Densité	g/cm³	3.21
Dureté	Dureté Vickers	2500
Taille des grains	µm	2~10
Pureté chimique	%	99.99995
Capacité thermique	J·kg-1 ·K-1	640
Température de sublimation	℃	2700
Force de flexion	MPa (RT 4 points)	415
Module de Young	Gpa (courbure 4pt, 1300℃)	430
Expansion thermique (CTE)	10-6K-1	4.5
Conductivité thermique	(W/mK)	300