Avantages du traitement LMJ
Les défauts inhérents au traitement laser régulier peuvent être surmontés grâce à l’utilisation intelligente de la technologie laser microjet laser (LMJ) pour propager les caractéristiques optiques de l’eau et de l’air. Cette technologie permet aux impulsions laser entièrement réfléchies dans le jet d'eau de haute pureté traité d'atteindre sans perturbation la surface d'usinage comme dans la fibre optique.
Les principales caractéristiques de la technologie LMJ sont :
1. Le faisceau laser est une structure en colonnes (parallèle).
2. L'impulsion laser est transmise dans le jet d'eau comme une fibre optique, sans aucune interférence environnementale.
3. Le faisceau laser est focalisé dans l'équipement LMJ et la hauteur de la surface usinée ne change pas pendant tout le processus de traitement, il n'est donc pas nécessaire de continuer à se concentrer avec le changement de profondeur de traitement pendant le traitement.
4. Nettoyez la surface en continu.
5. En plus de l'ablation du matériau de la pièce à usiner par chaque impulsion laser, chaque unité de temps depuis le début de chaque impulsion jusqu'à l'impulsion suivante, le matériau traité est dans l'état d'eau de refroidissement en temps réel pendant environ 99 % du temps. , qui élimine presque la zone affectée par la chaleur et la couche de refusion, mais maintient la haute efficacité du traitement.
| Spécification générale | LCSA-100 | LCSA-200 |
| Volume du comptoir | 125x200x100 | 460×460×300 |
| Axe linéaire XY | Moteur linéaire. Moteur linéaire | Moteur linéaire. Moteur linéaire |
| Axe linéaire Z | 100 | 300 |
| Précision de positionnement μm | + / - 5 | + / - 3 |
| Précision de positionnement répétée μm | + / - 2 | + / - 1 |
| Accélération G | 0,5 | 1 |
| Commande numérique | 3 axes | 3 axes |
| Laser |
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| Type de laser | DPSS nd : YAG | DPSS Nd : YAG, impulsion |
| Longueur d'onde nm | 532/1064 | 532/1064 |
| Puissance nominale W | 50/100/200 | 200/400 |
| Jet d'eau |
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| Diamètre de la buse μm | 25-80 | 25-80 |
| Barre de pression de buse | 100-600 | 0-600 |
| Taille/Poids |
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| Dimensions (Machine) (L x L x H) | 1050x800x1870 | 1 200 x 1 200 x 2 000 |
| Dimensions (armoire de commande) (L x L x H) | 700x2300x1600 | 700x2300x1600 |
| Poids (équipement) kg | 1170 | 2500-3000 |
| Poids (armoire de commande) kg | 700-750 | 700-750 |
| Consommation d'énergie globale |
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| Inentrée | AC 230 V +6 %/ -10 %, unidirectionnel 50/60 Hz ±1 % | AC 400 V +6 %/-10 %, triphasé 50/60 Hz ±1 % |
| Valeur maximale | 2,5kVA | 2,5kVA |
| Join | Câble d'alimentation de 10 m : P+N+E, 1,5 mm2 | Câble d'alimentation de 10 m : P+N+E, 1,5 mm2 |
| Gamme d'applications utilisateur de l'industrie des semi-conducteurs | Lingot rond ≤4 pouces Tranches de lingots ≤4 pouces ≤4 pouces de traçage de lingots
| Lingot rond ≤6 pouces Tranches de lingots ≤6 pouces ≤6 pouces de traçage de lingots La machine répond à la valeur théorique circulaire/tranchage/tranchage de 8 pouces, et les résultats pratiques spécifiques doivent être optimisés par la stratégie de coupe |
