Bateau à plaquettes en carbure de silicium recristallisé de grande taille

Brève description :

Semicera Energy Technology Co., Ltd. est une entreprise de haute technologie établie en Chine. Nous sommes un fabricant et un fournisseur professionnel de bateaux en cristal de carbure de silicium recristallisé pour l'industrie des semi-conducteurs.


Détail du produit

Mots clés du produit

Propriétés du carbure de silicium recristallisé

Le carbure de silicium recristallisé (R-SiC) est un matériau haute performance dont la dureté est juste derrière le diamant, qui est formé à une température élevée supérieure à 2 000 ℃. Il conserve de nombreuses excellentes propriétés du SiC, telles qu'une résistance à haute température, une forte résistance à la corrosion, une excellente résistance à l'oxydation, une bonne résistance aux chocs thermiques, etc.

● Excellentes propriétés mécaniques. Le carbure de silicium recristallisé a une résistance et une rigidité plus élevées que la fibre de carbone, une résistance élevée aux chocs, peut jouer de bonnes performances dans des environnements à températures extrêmes, peut jouer une meilleure performance de contrepoids dans une variété de situations. De plus, il a également une bonne flexibilité et n'est pas facilement endommagé par l'étirement et la flexion, ce qui améliore considérablement ses performances.

● Haute résistance à la corrosion. Le carbure de silicium recristallisé a une résistance élevée à la corrosion sur une variété de supports, peut empêcher l'érosion d'une variété de supports corrosifs, peut conserver ses propriétés mécaniques pendant une longue période, a une forte adhérence, de sorte qu'il ait une durée de vie plus longue. De plus, il présente également une bonne stabilité thermique, peut s'adapter à une certaine plage de changements de température et améliorer son effet d'application.

● Le frittage ne rétrécit pas. Étant donné que le processus de frittage ne rétrécit pas, aucune contrainte résiduelle ne provoquera de déformation ou de fissuration du produit, et des pièces aux formes complexes et de haute précision peuvent être préparées.

Paramètres techniques :

Partie 2

Fiche technique du matériau

材料Matériel

R-SiC

使用温度Température de travail (°C)

1600°C (氧化气氛Milieu oxydant)

1700°C (还原气氛Environnement réducteur)

SiC含量Teneur en SiC (%)

> 99

自由Si含量Contenu Si gratuit (%)

< 0,1

体积密度Densité apparente (g/cm3)

2,60-2,70

气孔率Porosité apparente (%)

< 16 ans

抗压强度Résistance à l'écrasement (MPa)

> 600

常温抗弯强度Résistance à la flexion à froid (MPa)

80-90 (20°C)

高温抗弯强度Résistance à la flexion à chaud (MPa)

90-100 (1400°C)

热膨胀系数

Coefficient de dilatation thermique à 1 500°C (10-6/°C)

4,70

导热系数Conductivité thermique à 1 200°C (W/mK)

23

杨氏模量Module élastique (GPa)

240

抗热震性Résistance aux chocs thermiques

很好Extrêmement bien

Bateau en cristal de carbure de silicium (2)
Bateau en cristal de carbure de silicium (3)
Bateau en cristal de carbure de silicium (4)
Bateau de gaufrette de carbure de silicium (5)
Bateau de gaufrette de carbure de silicium (4)
Lieu de travail Semicera
Lieu de travail Semicera 2
Machine d'équipement
Traitement CNN, nettoyage chimique, revêtement CVD
Notre prestation

  • Précédent:
  • Suivant: