Bateau en graphite isostatique PECVD

Brève description :

Le bateau en graphite isostatique PECVD est largement utilisé dans divers maillons de la fabrication de semi-conducteurs, tels que le dépôt de film de polysilicium, le dépôt de film d'oxyde, le dépôt de film de nitrure, etc. Ses excellentes performances en font un support de tranche idéal dans le processus PECVD.

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Détail du produit

Mots clés du produit

Le bateau en graphite isostatique PECVD SEMICERA est un produit en graphite de haute pureté et haute densité conçu pour le support de tranches dans le processus PECVD (dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma). SEMICERA utilise une technologie avancée de pressage isostatique pour garantir que le bateau en graphite présente une excellente résistance aux températures élevées, à la corrosion, une stabilité dimensionnelle et une bonne conductivité thermique, ce qui est un consommable indispensable dans le processus de fabrication des semi-conducteurs.

Le bateau en graphite isostatique PECVD SEMICERA présente les avantages suivants :

▪ Haute pureté : le matériau graphite est d'une grande pureté et présente une faible teneur en impuretés pour éviter la contamination de la surface de la tranche.

▪ Haute densité : haute densité, haute résistance mécanique, peut résister à des températures élevées et à un environnement de vide poussé.

▪ Bonne stabilité dimensionnelle : Faible changement dimensionnel à haute température pour assurer la stabilité du processus.

▪ Excellente conductivité thermique : transfère efficacement la chaleur pour éviter la surchauffe de la plaquette.

▪ Forte résistance à la corrosion : Capable de résister à l'érosion par divers gaz corrosifs et plasma.

Paramètre de performances	semi-céramique	SGL R6510	Paramètre de performances
Densité apparente (g/cm3)	1,91	1,83	1,85
Résistance à la flexion (MPa)	63	60	49
Résistance à la compression (MPa)	135	130	103
Dureté Shore (HS)	70	64	60
Coefficient de dilatation thermique (10-6/K)	85	105	130
Coefficient de dilatation thermique (10-6/K)	5,85	4.2	5.0
Résistivité (μΩm)	11-13	13	10

Avantages de nous choisir :
▪ Sélection des matériaux : des matériaux en graphite de haute pureté sont utilisés pour garantir la qualité du produit.
▪ Technologie de traitement : Le pressage isostatique est utilisé pour garantir la densité et l'uniformité du produit.
▪ Personnalisation de la taille : Des bateaux en graphite de différentes tailles et formes peuvent être personnalisés selon les besoins du client.
▪ Traitement de surface : diverses méthodes de traitement de surface sont proposées, telles que le revêtement en carbure de silicium, en nitrure de bore, etc., pour répondre aux différentes exigences du processus.