Suscepteur de plaquette revêtu de carbure de tantale (TaC)

Brève description :

Le revêtement en carbure de tantale est une technologie avancée de revêtement de surface qui utilise du carbure de tantale pour former une couche protectrice dure, résistante à l'usure et à la corrosion sur la surface du substrat. Ce revêtement possède d'excellentes propriétés qui augmentent considérablement la dureté du matériau, sa résistance aux températures élevées et sa résistance chimique, tout en réduisant la friction et l'usure. Les revêtements en carbure de tantale sont largement utilisés dans divers domaines, notamment la fabrication industrielle, l'aérospatiale, l'ingénierie automobile et les équipements médicaux, pour prolonger la durée de vie des matériaux, améliorer l'efficacité de la production et réduire les coûts de maintenance. Qu'il s'agisse de protéger les surfaces métalliques de la corrosion ou d'améliorer la résistance à l'usure et à l'oxydation des pièces mécaniques, les revêtements en carbure de tantale constituent une solution fiable pour une variété d'applications.


Détail du produit

Mots clés du produit

Semicera fournit des revêtements spécialisés en carbure de tantale (TaC) pour divers composants et supports.Le procédé de revêtement de pointe Semicera permet aux revêtements en carbure de tantale (TaC) d'atteindre une pureté élevée, une stabilité à haute température et une tolérance chimique élevée, améliorant ainsi la qualité des produits des cristaux SIC/GAN et des couches EPI (Suscepteur TaC recouvert de graphite) et prolonger la durée de vie des composants clés du réacteur. L'utilisation du revêtement TaC en carbure de tantale vise à résoudre le problème des bords et à améliorer la qualité de la croissance cristalline, et Semicera Semicera a résolu de manière révolutionnaire la technologie de revêtement en carbure de tantale (CVD), atteignant le niveau avancé international.

 

Après des années de développement, Semicera a conquis la technologie deTaC MCVavec les efforts conjoints du département R&D. Il est facile de constater des défauts lors du processus de croissance des plaquettes SiC, mais après utilisationTaC, la différence est significative. Vous trouverez ci-dessous une comparaison des plaquettes avec et sans TaC, ainsi que des pièces Simicera pour la croissance monocristalline.

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avec et sans TaC

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Après avoir utilisé TaC (à droite)

De plus, la durée de vie des produits de revêtement TaC de Semicera est plus longue et plus résistante aux températures élevées que celle du revêtement SiC. Après une longue période de mesures en laboratoire, notre TaC peut fonctionner longtemps à une température maximale de 2300 degrés Celsius. Voici quelques-uns de nos échantillons :

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(a) Schéma schématique du dispositif de culture de lingots monocristallins SiC par méthode PVT (b) Support de graine recouvert de TaC (y compris les graines de SiC) (c) Anneau de guidage en graphite recouvert de TAC

ZDFVzCFV
Caractéristique principale
Lieu de travail Semicera
Lieu de travail Semicera 2
Machine d'équipement
Traitement CNN, nettoyage chimique, revêtement CVD
Notre prestation

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