Semicera présente un semi-conducteur de haute qualitépalettes en porte-à-faux en carbure de silicium, conçu pour répondre aux exigences strictes de la fabrication moderne de semi-conducteurs.
Lepalette en carbure de siliciumprésente une conception avancée qui minimise la dilatation thermique et la déformation, ce qui le rend très fiable dans des conditions extrêmes. Sa construction robuste offre une durabilité accrue, réduisant le risque de casse ou d'usure, ce qui est essentiel pour maintenir des rendements élevés et une qualité de production constante. Lebateau à plaquettesla conception s’intègre également parfaitement aux équipements de traitement de semi-conducteurs standard, garantissant ainsi la compatibilité et la facilité d’utilisation.
L'une des caractéristiques remarquables du Semicerapagaie SiCest sa résistance chimique, qui lui permet de fonctionner exceptionnellement bien dans des environnements exposés à des gaz et produits chimiques corrosifs. L'accent mis par Semicera sur la personnalisation permet des solutions sur mesure.
Propriétés physiques du carbure de silicium recristallisé | |
Propriété | Valeur typique |
Température de travail (°C) | 1600°C (avec oxygène), 1700°C (environnement réducteur) |
Contenu SiC | > 99,96% |
Contenu Si gratuit | < 0,1% |
Densité apparente | 2,60-2,70 g/cm3 |
Porosité apparente | < 16% |
Résistance à la compression | > 600 MPa |
Résistance à la flexion à froid | 80-90 MPa (20°C) |
Résistance à la flexion à chaud | 90-100 MPa (1 400 °C) |
Dilatation thermique à 1 500 °C | 4,70 10-6/°C |
Conductivité thermique à 1200°C | 23 W/m•K |
Module élastique | 240 GPa |
Résistance aux chocs thermiques | Extrêmement bien |