Semicera présente des produits personnalisés de haute qualitépalettes en porte-à-faux en carbure de siliciumconçu pour élever les processus de fabrication de semi-conducteurs. L'innovantpagaie SiCsa conception garantit une durabilité exceptionnelle et une résistance thermique élevée, ce qui en fait un composant essentiel pour la manipulation des plaquettes dans des environnements difficiles à haute température.
LePalette en carbure de siliciumest conçu pour résister à des cycles thermiques extrêmes tout en préservant l'intégrité structurelle, garantissant ainsi un transport fiable des plaquettes pendant les phases critiques de la production de semi-conducteurs. Avec une résistance mécanique supérieure, cebateau à plaquettesminimise le risque de dommages aux plaquettes, conduisant à des rendements plus élevés et à une qualité de production constante.
L'une des principales innovations de la pagaie SiC de Semicera réside dans ses options de conception personnalisées. Conçue pour répondre à des besoins de production spécifiques, la palette offre une flexibilité d'intégration avec diverses configurations d'équipement, ce qui en fait une solution idéale pour les processus de fabrication modernes. La construction légère mais robuste permet une manipulation facile et réduit les temps d'arrêt opérationnels, contribuant ainsi à améliorer l'efficacité de la production de semi-conducteurs.
Outre ses propriétés thermiques et mécaniques, lePalette en carbure de siliciumoffre une excellente résistance chimique, lui permettant de fonctionner de manière fiable même dans des environnements chimiques difficiles. Cela le rend particulièrement adapté à une utilisation dans les processus impliquant une gravure, un dépôt et un traitement à haute température, où le maintien de l'intégrité du bateau de tranches est crucial pour garantir des résultats de haute qualité.
Propriétés physiques du carbure de silicium recristallisé | |
Propriété | Valeur typique |
Température de travail (°C) | 1600°C (avec oxygène), 1700°C (environnement réducteur) |
Contenu SiC | > 99,96% |
Contenu Si gratuit | < 0,1% |
Densité apparente | 2,60-2,70 g/cm3 |
Porosité apparente | < 16% |
Résistance à la compression | > 600 MPa |
Résistance à la flexion à froid | 80-90 MPa (20°C) |
Résistance à la flexion à chaud | 90-100 MPa (1 400 °C) |
Dilatation thermique à 1 500 °C | 4,70 10-6/°C |
Conductivité thermique à 1200°C | 23 W/m•K |
Module élastique | 240 GPa |
Résistance aux chocs thermiques | Extrêmement bien |