Support/Suscepteur SiC de haute pureté

Brève description :

Le disque de roulement en carbure de silicium est également connu sous le nom de plateau SIC, disque de gravure en carbure de silicium, disque de gravure ICP. Le plateau en carbure de silicium pour la gravure LED (plateau SiC) φ600 mm est un accessoire spécial pour la gravure profonde du silicium (machine de gravure ICP).

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Détail du produit

Mots clés du produit

Description

Les céramiques de carbure de silicium ont d'excellentes propriétés mécaniques à température ambiante, telles qu'une résistance élevée, une dureté élevée, un module élastique élevé, etc., elles ont également une excellente stabilité à haute température comme une conductivité thermique élevée, un faible coefficient de dilatation thermique et une bonne rigidité spécifique et optique. performances de traitement.
Ils sont particulièrement adaptés à la production de pièces en céramique de précision pour les équipements de circuits intégrés tels que les machines de lithographie, principalement utilisées pour fabriquer le support/suscepteur SiC, le bateau à plaquettes SiC, le disque d'aspiration, la plaque de refroidissement par eau, le réflecteur de mesure de précision, le réseau et d'autres pièces structurelles en céramique.

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Avantages

Résistance aux hautes températures : utilisation normale à 1800 ℃
Conductivité thermique élevée : équivalente au matériau graphite
Haute dureté : dureté juste derrière le diamant et le nitrure de bore
Résistance à la corrosion : les acides forts et les alcalis ne sont pas corrosifs, la résistance à la corrosion est meilleure que celle du carbure de tungstène et de l'alumine.
Légèreté : faible densité, proche de l’aluminium
Aucune déformation : faible coefficient de dilatation thermique
Résistance aux chocs thermiques : il peut résister à des changements brusques de température, résister aux chocs thermiques et a des performances stables
Les supports en carbure de silicium tels que le support de gravure sic, le suscepteur de gravure ICP, sont largement utilisés dans le CVD de semi-conducteurs, la pulvérisation sous vide, etc. Nous pouvons fournir aux clients des supports de plaquettes personnalisés en silicium et en carbure de silicium pour répondre à différentes applications.

Avantages

Propriété	Valeur	Méthode
Densité	3,21 g/cc	Évier-flotteur et dimension
Chaleur spécifique	0,66 J/g °K	Flash laser pulsé
Résistance à la flexion	450 MPa560 MPa	Coude 4 points, coude RT4 points, 1300°
Résistance à la rupture	2,94 MPa m1/2	Microindentation
Dureté	2800	Vicker's, charge de 500 g
Module élastiqueModule de Young	450 GPa430 GPa	Coude 4 points, coude RT4 points, 1 300 °C
Taille des grains	2 – 10 µm	MEB

Profil de l'entreprise

WeiTai Energy Technology Co., Ltd. est l'un des principaux fournisseurs de céramiques semi-conductrices avancées et le seul fabricant en Chine qui peut fournir simultanément de la céramique de carbure de silicium de haute pureté (en particulier le SiC recristallisé) et un revêtement SiC CVD. De plus, notre société s'engage également dans les domaines céramiques tels que l'alumine, le nitrure d'aluminium, la zircone et le nitrure de silicium, etc.

Nos principaux produits comprennent : disque de gravure en carbure de silicium, remorque de bateau en carbure de silicium, bateau à plaquettes en carbure de silicium (photovoltaïque et semi-conducteur), tube de four en carbure de silicium, palette en porte-à-faux en carbure de silicium, mandrins en carbure de silicium, poutre en carbure de silicium, ainsi que le revêtement CVD SiC et TaC. revêtement. Les produits principalement utilisés dans les industries des semi-conducteurs et du photovoltaïque, tels que les équipements de croissance cristalline, d'épitaxie, de gravure, d'emballage, de revêtement et de diffusion, etc.
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