Revêtement poreux en carbure de tantaleLe corps est en carbure de tantale comme matériau de revêtement principal, le carbure de tantale présente une excellente résistance à la corrosion, une résistance à l'usure et une stabilité à haute température. Il peut protéger efficacement le matériau de base contre l’érosion chimique et l’atmosphère à haute température. Le matériau de base présente généralement les caractéristiques de résistance aux températures élevées et de résistance à la corrosion. Il peut fournir une bonne résistance mécanique et une bonne stabilité chimique, tout en servant de base de support aurevêtement en carbure de tantale.
Semicera fournit des revêtements spécialisés en carbure de tantale (TaC) pour divers composants et supports.Le procédé de revêtement de pointe Semicera permet aux revêtements en carbure de tantale (TaC) d'atteindre une pureté élevée, une stabilité à haute température et une tolérance chimique élevée, améliorant ainsi la qualité des produits des cristaux SIC/GAN et des couches EPI (Suscepteur TaC recouvert de graphite) et prolonger la durée de vie des composants clés du réacteur. L'utilisation du revêtement TaC en carbure de tantale vise à résoudre le problème des bords et à améliorer la qualité de la croissance cristalline, et Semicera a résolu de manière révolutionnaire la technologie de revêtement en carbure de tantale (CVD), atteignant le niveau avancé international.
Après des années de développement, Semicera a conquis la technologie deTaC MCVavec les efforts conjoints du département R&D. Il est facile de constater des défauts lors du processus de croissance des plaquettes SiC, mais après utilisationTaC, la différence est significative. Vous trouverez ci-dessous une comparaison des plaquettes avec et sans TaC, ainsi que des pièces Simicera pour la croissance monocristalline.
avec et sans TaC
Après avoir utilisé TaC (à droite)
De plus, SemiceraProduits revêtus de TaCprésentent une durée de vie plus longue et une plus grande résistance aux températures élevées par rapport àRevêtements SiC.Des mesures en laboratoire ont démontré que notreRevêtements TaCpeut fonctionner de manière constante à des températures allant jusqu'à 2 300 degrés Celsius pendant de longues périodes. Vous trouverez ci-dessous quelques exemples de nos échantillons :
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Plaque planétaire avec revêtement en carbure de tantale (TaC)
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Anneau enduit résistant à la corrosion de carbure de tantale
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Suscepteur en graphite MOCVD LED UV profond à revêtement TaC
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Anneau enduit de carbone de tantale de haute pureté
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Plaque de revêtement en carbure de tantale (TaC)
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Plaque de graphite à revêtement en carbure de tantale