Support de plaquette d'épitaxie

Brève description :

Semicera fournit des supports de plaquettes d'épitaxie de haute qualité conçus pour les processus d'épitaxie Si et SiC. Les produits Semicera garantissent la stabilité et une excellente conductivité thermique pour diverses applications de semi-conducteurs telles que les suscepteurs MOCVD et les suscepteurs en barillet. Nos produits sont largement utilisés dans le processus de production de silicium monocristallin avec une excellente résistance aux températures élevées et une excellente compatibilité avec les matériaux.

Envoyez-nous un e-mail

Détail du produit

Mots clés du produit

Pourquoi le revêtement en carbure de silicium ?

Epitaxy Wafer Carrier est un composant essentiel dans la production de semi-conducteurs, en particulier dansSi EpitaxieetEpitaxie SiCprocessus. Semicera conçoit et fabrique avec soinTrancheSupports résistant à des températures extrêmement élevées et à des environnements chimiques, garantissant d'excellentes performances dans des applications telles queSuscepteur MOCVDet Suscepteur de baril. Qu'il s'agisse du dépôt de silicium monocristallin ou de processus d'épitaxie complexes, le support de plaquette d'épitaxie de Semicera offre une excellente uniformité et stabilité.

SemiceraSupport de plaquette d'épitaxieest fait de matériaux avancés avec une excellente résistance mécanique et conductivité thermique, ce qui peut réduire efficacement les pertes et l'instabilité pendant le processus. De plus, la conception duTrancheCarrier peut également s'adapter à des équipements d'épitaxie de différentes tailles, améliorant ainsi l'efficacité globale de la production.

Pour les clients qui ont besoin de processus d'épitaxie de haute précision et de haute pureté, le support de plaquette d'épitaxie de Semicera est un choix digne de confiance. Nous nous engageons toujours à fournir à nos clients une excellente qualité de produits et un support technique fiable pour contribuer à améliorer la fiabilité et l'efficacité des processus de production.

Notre avantage, pourquoi choisir Semicera ?

✓Qualité supérieure sur le marché chinois

✓Bon service toujours pour vous, 7*24 heures

✓Date de livraison courte

✓Petit MOQ bienvenu et accepté

✓Services personnalisés

Application

Suscepteur de croissance par épitaxie

Les plaquettes de silicium/carbure de silicium doivent passer par plusieurs processus pour être utilisées dans les appareils électroniques. Un procédé important est l'épitaxie silicium/sic, dans lequel des tranches de silicium/sic sont portées sur une base de graphite. Les avantages particuliers de la base de graphite recouverte de carbure de silicium de Semicera incluent une pureté extrêmement élevée, un revêtement uniforme et une durée de vie extrêmement longue. Ils présentent également une résistance chimique et une stabilité thermique élevées.

Suscepteur d'épitaxie de silicium

Suscepteur d'épitaxie en carbure de silicium

Production de puces LED

Lors du revêtement approfondi du réacteur MOCVD, la base ou support planétaire déplace la tranche de substrat. Les performances du matériau de base ont une grande influence sur la qualité du revêtement, qui à son tour affecte le taux de rebut des copeaux. La base recouverte de carbure de silicium de Semicera augmente l'efficacité de fabrication des plaquettes LED de haute qualité et minimise l'écart de longueur d'onde. Nous fournissons également des composants en graphite supplémentaires pour tous les réacteurs MOCVD actuellement utilisés. Nous pouvons revêtir presque n'importe quel composant avec un revêtement en carbure de silicium, même si le diamètre du composant peut atteindre 1,5 M, nous pouvons toujours revêtir du carbure de silicium.

Suscepteur d'épitaxie LED

Domaine des semi-conducteurs, processus de diffusion d'oxydation, Etc.

Dans le processus des semi-conducteurs, le processus d'oxydation-expansion nécessite une pureté de produit élevée, et chez Semicera, nous proposons des services de revêtement personnalisés et CVD pour la majorité des pièces en carbure de silicium.

L'image suivante montre la boue de carbure de silicium grossièrement traitée de Semicea et le tube du four en carbure de silicium qui est nettoyé au 1000-niveausans poussièrechambre. Nos ouvriers travaillent avant le revêtement. La pureté de notre carbure de silicium peut atteindre 99,98 % et la pureté du revêtement sic est supérieure à 99,9995 %.