41 pièces de pièces d'équipement MOCVD à base de graphite de 4 pouces

Brève description :

Introduction et utilisation du produit : 41 morceaux de substrat de 4 heures placés, utilisés pour la culture de LED avec un film épitaxial bleu-vert

Localisation du produit : dans la chambre de réaction, en contact direct avec la plaquette

Principaux produits en aval : puces LED

Marché final principal : LED


Détail du produit

Mots clés du produit

Description

Notre entreprise fournitRevêtement SiCtraiter les services par méthode CVD sur la surface du graphite, de la céramique et d'autres matériaux, de sorte que des gaz spéciaux contenant du carbone et du silicium réagissent à haute température pour obtenir des molécules de SiC de haute pureté, des molécules déposées sur la surface des matériaux revêtus, formant unCouche de protection SiC.

41 pièces de pièces d'équipement MOCVD à base de graphite de 4 pouces

Principales caractéristiques

1. Résistance à l’oxydation à haute température :
la résistance à l'oxydation est toujours très bonne lorsque la température atteint 1600 ℃.
2. Haute pureté : fabriqué par dépôt chimique en phase vapeur dans des conditions de chloration à haute température.
3. Résistance à l'érosion : dureté élevée, surface compacte, particules fines.
4. Résistance à la corrosion : acides, alcalis, sels et réactifs organiques.

 

Principales spécifications du revêtement CVD-SIC

Propriétés SiC-CVD
Structure cristalline Phase β du FCC
Densité g/cm³ 3.21
Dureté Dureté Vickers 2500
Taille des grains µm 2~10
Pureté chimique % 99.99995
Capacité thermique J·kg-1 ·K-1 640
Température de sublimation 2700
Force de flexion MPa (RT 4 points) 415
Module de Young Gpa (courbure 4pt, 1300℃) 430
Expansion thermique (CTE) 10-6K-1 4.5
Conductivité thermique (W/mK) 300
Lieu de travail Semicera
Lieu de travail Semicera 2
Machine d'équipement
Traitement CNN, nettoyage chimique, revêtement CVD
Entrepôt Semicera
Notre prestation

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