Substrat de plaquette poli double face HPSI SiC semi-isolant de haute pureté de 4 pouces

Brève description :

Les substrats de plaquettes polis double face SiC semi-isolants de haute pureté (HPSI) de 4 pouces de Semicera sont conçus avec précision pour des performances électroniques supérieures. Ces plaquettes offrent une excellente conductivité thermique et une excellente isolation électrique, idéales pour les applications avancées de semi-conducteurs. Faites confiance à Semicera pour une qualité et une innovation inégalées dans la technologie des plaquettes.


Détail du produit

Mots clés du produit

Les substrats de tranches polis double face SiC semi-isolants de haute pureté (HPSI) de 4 pouces de Semicera sont conçus pour répondre aux exigences rigoureuses de l'industrie des semi-conducteurs. Ces substrats sont conçus avec une planéité et une pureté exceptionnelles, offrant une plate-forme optimale pour les appareils électroniques de pointe.

Ces plaquettes HPSI SiC se distinguent par leurs propriétés supérieures de conductivité thermique et d'isolation électrique, ce qui en fait un excellent choix pour les applications haute fréquence et haute puissance. Le processus de polissage double face garantit une rugosité de surface minimale, ce qui est crucial pour améliorer les performances et la longévité de l'appareil.

La grande pureté des plaquettes SiC de Semicera minimise les défauts et les impuretés, ce qui entraîne des taux de rendement et une fiabilité du dispositif plus élevés. Ces substrats conviennent à un large éventail d'applications, notamment les dispositifs micro-ondes, l'électronique de puissance et les technologies LED, où la précision et la durabilité sont essentielles.

En mettant l'accent sur l'innovation et la qualité, Semicera utilise des techniques de fabrication avancées pour produire des plaquettes qui répondent aux exigences strictes de l'électronique moderne. Le polissage double face améliore non seulement la résistance mécanique mais facilite également une meilleure intégration avec d'autres matériaux semi-conducteurs.

En choisissant les substrats de plaquettes polis double face HPSI SiC semi-isolants de haute pureté de 4 pouces de Semicera, les fabricants peuvent tirer parti des avantages d'une gestion thermique et d'une isolation électrique améliorées, ouvrant la voie au développement de dispositifs électroniques plus efficaces et plus puissants. Semicera continue de diriger l'industrie avec son engagement envers la qualité et le progrès technologique.

Articles

Production

Recherche

Factice

Paramètres du cristal

Polytype

4H

Erreur d'orientation de la surface

<11-20 >4±0,15°

Paramètres électriques

Dopant

Azote de type n

Résistivité

0,015-0,025ohm·cm

Paramètres mécaniques

Diamètre

150,0 ± 0,2 mm

Épaisseur

350 ± 25 μm

Orientation principale à plat

[1-100]±5°

Longueur à plat primaire

47,5 ± 1,5 mm

Appartement secondaire

Aucun

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm(5mm*5mm)

≤5 μm(5mm*5mm)

≤10 μm(5mm*5mm)

Arc

-15 μm ~ 15 μm

-35 μm ~ 35 μm

-45 μm ~ 45 μm

Chaîne

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Rugosité avant (face Si) (AFM)

Ra≤0,2 nm (5 μm*5 μm)

Structure

Densité des microtubes

<1 pièce/cm2

<10 pièce/cm2

<15 pièce/cm2

Impuretés métalliques

≤5E10atomes/cm2

NA

TPB

≤1500 pièce/cm2

≤3000 pièce/cm2

NA

TSD

≤500 pièce/cm2

≤1000 pièce/cm2

NA

Qualité avant

Devant

Si

Finition superficielle

Si-face CMP

Particules

≤60ea/plaquette (taille≥0,3μm)

NA

Rayures

≤5 unités/mm. Longueur cumulée ≤Diamètre

Longueur cumulée≤2*Diamètre

NA

Peau d'orange/piqûres/taches/striations/fissures/contamination

Aucun

NA

Copeaux de bord/empreintes/fracture/plaques hexagonales

Aucun

Zones polytypes

Aucun

Superficie cumulée≤20 %

Superficie cumulée≤30 %

Marquage laser frontal

Aucun

Retour Qualité

Finition arrière

CMP face C

Rayures

≤5ea/mm, longueur cumulée≤2*Diamètre

NA

Défauts arrière (éclats de bord/empreintes)

Aucun

Rugosité du dos

Ra≤0,2 nm (5 μm*5 μm)

Marquage laser au dos

1 mm (à partir du bord supérieur)

Bord

Bord

Chanfreiner

Conditionnement

Conditionnement

Epi-ready avec emballage sous vide

Conditionnement de cassettes multi-wafers

*Remarques : « NA » signifie aucune demande. Les éléments non mentionnés peuvent faire référence à SEMI-STD.

tech_1_2_size
plaquettes SiC

  • Précédent:
  • Suivant: