Introduction du support de plaquette
CATÉGORIE DE PRODUIT
▶Système de support de plaquettes pour les processus PECVD et TALOX
• Bateau en graphite PECVD et TALOX (M4 ~ M12)
• Bateau SM vertical (M4, M6)
• Pièce en graphite pour implant et douche (M4 ~ M6)
• Plateau C/C et revêtement en céramique
• Plateau RIE en métal et revêtement en céramique
• Mise sous vide : O-Ring & SQ-Ring
▶Processus de transfert de texturation et de gravure humide
• Support ou cassette LSC H (M4~M12)
• V-Carrier ou cassette LSC (M4~M12)
• Support ou cassette ASC (M4, M6)
• Support de transport et boîte de rangement W/F (M4~M12)
• Série de roues de transport (rouleaux)
▶Support de cellules solaires et support métallique
• Support ou cassette TRC (M4~M12)
• Magazine (avec CEINTURE)
BATEAU EN GRAPHITE (Type H)
19P6-216CT (WF M4~M12)
BATEAU EN GRAPHITE (Type H)
21P6-240CTWF M4~M12)
BATEAU EN GRAPHITE (Type H)
23P7-308CT (avec M4 ~ M12)
BATEAU EN GRAPHITE (Type H)
22P/7-294TP (avec M4~M12)
BATEAU EN GRAPHITE (Type H)
W182-22P7-294CT (avec M12)
W182-21P6-240CT (avec M12)
TRANSPORTEUR ET BOÎTE DE RANGEMENT WF (~M12)
PLATEAU C/C ou TRANSPORTEUR (M4~M10)
PLATEAU C/C ou TRANSPORTEUR (M4~M10)
BATEAU VERTICAL (SM) M6
LSC-H-CARRIER(~M12)
LSC-V-CARRIER(~M12)
PORTEUR ASC (~M6)
PORTEUR TRC (~M12)
PORTEUR TRC (~M12)
BATEAU EN GRAPHITE (M12)
Système de transport de plaquettes pour le processus PECVD
▶ BATEAU EN GRAPHITE (conçu par CT) Processus M10/M12
• CONCEPT DE CONCEPTION SPÉCIALE
▶ BATEAU EN GRAPHITE (conçu par CT) Processus M4/M6
▶ Pièces accessoires de BATEAU
▶ BATEAU VERTICAL-161,7 mm PLAQUE
▶ BATEAU VERTICAL-166mm PLAQUE
▶ BATEAU VERTICAL-161,7 mm, PLAQUE DE 166 mm
Support de cellules solaires et support TRC en métal
TYPE : Automatisation
TAILLE DE LA PLAQUE : ① 156×156MM ② 156,75×156,75MM
③161,7x161,7MM ④166x166MM
⑤ 180 × 180 mm ⑥ 210 × 210 mm
UTILISATION : Transport (Cassette)
CAPACITÉ : 100 feuilles
PAS : 4,76 MM/5,953 mm/6,35 mm
DIMENSIONS : Environ 559×220×220MM
Environ 712 × 260 × 260MM
AVANTAGE : Ambiance
MATÉRIEL : FLAMME, BARRE LATÉRALE-Aluminium (anodisation)
PLAQUE LATÉRALE-POM (Antistatique)
Couverture de la barre inférieure-EPDM/PU/VITON (ASE)
TRANSPORTEUR MÉTALLIQUE TRC (LIGNE U'SER)
TRANSPORTEUR MÉTALLIQUE TRC (LIGNE U'SER)
TRANSPORTEUR MÉTALLIQUE TRC (LIGNE U'SER)
PLAQUE DE DOUCHE & IMPLANT, SUPPORT
