Dans les équipements de gravure plasma, les composants en céramique jouent un rôle crucial, notamment la bague de focalisation. La bague de focalisation, placée autour de la plaquette et en contact direct avec celle-ci, est essentielle pour focaliser le plasma sur la plaquette en appliquant une tension sur la bague. Cela améliore l'ONU...
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