Dans le domaine de la fabrication de semi-conducteurs,MOCVD (dépôt chimique en phase vapeur de métaux organiques)la technologie devient rapidement un processus clé, avec leTransporteur de plaquettes MOCVDétant l’un de ses principaux éléments. Les progrès du MOCVD Wafer Carrier se reflètent non seulement dans son processus de fabrication, mais également dans son large éventail de scénarios d'application et son potentiel de développement futur.
Processus avancé
Le support de plaquettes MOCVD utilise un matériau graphite de haute pureté qui, grâce à un traitement de précision et à la technologie de revêtement SiC CVD (dépôt chimique en phase vapeur), garantit des performances optimales des plaquettes dansRéacteurs MOCVD. Ce matériau graphite de haute pureté présente une excellente uniformité thermique et des capacités de cyclage rapide de la température, permettant des rendements plus élevés et une durée de vie plus longue dans le processus MOCVD. De plus, la conception du support de plaquettes MOCVD prend en compte les besoins d'uniformité de la température et de chauffage et de refroidissement rapides, améliorant ainsi la stabilité et l'efficacité du processus.
Scénarios d'application
Le support de plaquette MOCVD est largement utilisé dans des domaines tels que les LED, l'électronique de puissance et les lasers. Dans ces applications, les performances du support de plaquette affectent directement la qualité du produit final. Par exemple, dans la production de puces LED, la rotation et le chauffage uniforme du support de plaquette MOCVD garantissent la qualité du revêtement, réduisant ainsi le taux de rebut des puces. Par ailleurs, leTransporteur de plaquettes MOCVDjoue un rôle crucial dans la fabrication d’électronique de puissance et de lasers, garantissant les hautes performances et la fiabilité de ces appareils.
Tendances de développement futures
D'un point de vue mondial, des sociétés comme AMEC, Entegris et Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. disposent d'avantages technologiques de premier plan dans la production de supports de plaquettes MOCVD. Avec les progrès continus de la technologie des semi-conducteurs, la demande de supports de plaquettes MOCVD augmente également. À l'avenir, avec la popularisation des technologies émergentes telles que la 5G, l'Internet des objets et les véhicules à énergie nouvelle, les supports de plaquettes MOCVD joueront un rôle important dans davantage de domaines.
De plus, grâce aux progrès de la science des matériaux, de nouvelles technologies de revêtement et des matériaux en graphite de plus grande pureté amélioreront encore les performances des supports de plaquettes MOCVD. Par exemple, les futurs supports de plaquettes MOCVD pourraient adopter des technologies de revêtement plus avancées pour améliorer leur durabilité et leur stabilité thermique, réduisant ainsi davantage les coûts de production et améliorant l'efficacité de la production.
Heure de publication : 09 août 2024