Le processus de gravure sèche comprend généralement quatre états de base : avant la gravure, la gravure partielle, la gravure juste et la surgravure. Les principales caractéristiques sont la vitesse de gravure, la sélectivité, la dimension critique, l'uniformité et la détection du point final. Figure 1 Avant la gravure Figure 2 Gravure partielle Figure...
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