Les films minces utilisés dans la fabrication de semi-conducteurs ont tous une résistance, et la résistance du film a un impact direct sur les performances du dispositif. Nous ne mesurons généralement pas la résistance absolue du film, mais utilisons la résistance de la feuille pour le caractériser.
Que sont la résistance de feuille et la résistivité volumique ?
La résistivité volumique, également connue sous le nom de résistivité volumique, est une propriété inhérente à un matériau qui caractérise la mesure dans laquelle le matériau entrave la circulation du courant électrique. Le symbole couramment utilisé représente ρ, l'unité est Ω.
Résistance de feuille, également connue sous le nom de résistance de feuille, le nom anglais est résistance de feuille, qui fait référence à la valeur de résistance du film par unité de surface. Symboles couramment utilisés Rs ou ρs pour exprimer, l'unité est Ω/sq ou Ω/□
La relation entre les deux est la suivante : résistance de la feuille = résistivité volumique/épaisseur du film, c'est-à-dire Rs = ρ/t
Pourquoi mesurer la résistance d’une tôle ?
Mesurer la résistance absolue d'un film nécessite une connaissance précise des dimensions géométriques du film (longueur, largeur, épaisseur), qui comportent de nombreuses variables et sont très complexes pour des films très fins ou de forme irrégulière. La résistance de la feuille est uniquement liée à l'épaisseur du film et peut être testée rapidement et directement sans calculs de taille compliqués.
Quels films doivent mesurer la résistance des feuilles ?
Généralement, les films conducteurs et les films semi-conducteurs doivent être mesurés pour la résistance carrée, alors que les films isolants n'ont pas besoin d'être mesurés.
Lors du dopage des semi-conducteurs, la résistance de la feuille de silicium est également mesurée.
Comment mesurer la résistance carrée ?
La méthode à quatre sondes est généralement utilisée dans l’industrie. La méthode à quatre sondes peut mesurer une résistance carrée allant de 1E-3 à 1E+9Ω/sq. La méthode à quatre sondes peut éviter les erreurs de mesure dues à la résistance de contact entre la sonde et l'échantillon.
Méthodes de mesure :
1) Placez quatre sondes disposées linéairement sur la surface de l’échantillon.
2) Appliquez un courant constant entre les deux sondes extérieures.
3) Déterminer la résistance en mesurant la différence de potentiel entre les deux sondes internes
RS : résistance de la feuille
ΔV : Changement de tension mesuré entre les sondes internes
I : Courant appliqué entre les sondes extérieures
Heure de publication : 29 mars 2024