Application des céramiques de carbure de silicium dans le domaine des semi-conducteurs

Semi-conducteurs :

L'industrie des semi-conducteurs suit la loi industrielle « une génération de technologie, une génération de processus et une génération d'équipement », et la mise à niveau et l'itération des équipements à semi-conducteurs dépendent en grande partie de la percée technologique des pièces de précision. Parmi eux, les pièces en céramique de précision sont les matériaux de pièces de précision semi-conducteurs les plus représentatifs, qui ont des applications importantes dans une série de liens majeurs de fabrication de semi-conducteurs tels que le dépôt chimique en phase vapeur, le dépôt physique en phase vapeur, l'implantation ionique et la gravure. Tels que les roulements, les rails de guidage, les garnitures, les mandrins électrostatiques, les bras de manutention mécanique, etc. Surtout à l'intérieur de la cavité de l'équipement, il joue le rôle de support, de protection et de déviation.

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Depuis 2023, les Pays-Bas et le Japon ont également publié successivement de nouvelles réglementations ou décrets sur le commerce extérieur sur le contrôle, ajoutant des réglementations sur les licences d'exportation pour les équipements semi-conducteurs, y compris les machines de lithographie, et la tendance à l'altermondialisation des semi-conducteurs s'est progressivement manifestée. L’importance d’un contrôle indépendant de la chaîne d’approvisionnement est devenue de plus en plus importante. Face à la demande de localisation de pièces d'équipements semi-conducteurs, les entreprises nationales promeuvent activement le développement industriel. Zhongci Electronics a réalisé la localisation de pièces de précision de haute technologie telles que des plaques chauffantes et des mandrins électrostatiques, résolvant ainsi le problème du « goulot d'étranglement » de l'industrie nationale des équipements à semi-conducteurs ; Dezhi New Materials, l'un des principaux fournisseurs nationaux de bases de graphite revêtues de SiC et d'anneaux de gravure SiC, a finalisé avec succès un financement de 100 millions de yuans, etc…..
Substrats céramiques de nitrure de silicium à haute conductivité :

Les substrats céramiques de nitrure de silicium sont principalement utilisés dans les unités de puissance, les dispositifs à semi-conducteurs et les onduleurs des véhicules électriques purs (VE) et des véhicules électriques hybrides (HEV), et présentent un potentiel de marché et des perspectives d'application énormes.

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À l'heure actuelle, les matériaux de substrat en céramique de nitrure de silicium à haute conductivité thermique destinés aux applications commerciales nécessitent une conductivité thermique ≥85 W/(m·K), une résistance à la flexion ≥650MPa et une ténacité à la rupture de 5~7MPa·m1/2. Les entreprises qui ont véritablement la capacité de produire en masse des substrats céramiques de nitrure de silicium à haute conductivité thermique sont principalement le groupe Toshiba, Hitachi Metals, Japan Electric Chemical, Japan Maruwa et Japan Fine Ceramics.

La recherche nationale sur les substrats céramiques en nitrure de silicium a également progressé. La conductivité thermique du substrat céramique de nitrure de silicium préparé par le processus de coulage de bande de la succursale de Pékin de Sinoma High-Tech Nitride Ceramics Co., Ltd. est de 100 W/(m·K) ; Beijing Sinoma Artificial Crystal Research Institute Co., Ltd. a préparé avec succès un substrat en céramique de nitrure de silicium avec une résistance à la flexion de 700-800MPa, une ténacité à la rupture ≥8MPa·m1/2 et une conductivité thermique ≥80W/(m·K) en optimisant la méthode et le processus de frittage.


Heure de publication : 29 octobre 2024