La plaque SiC est une sorte de céramique à corps dense à porosité nulle, à base de SiC et frittée à 2250 ℃.La teneur en SiC est supérieure à 99,6 %, la résistance à la flexion est supérieure à 410 MPa et la conductivité thermique est de 140 W/MK. C'est le seul matériau céramique résistant au HF, au H2SO4 et à d'autres corrosions acides fortes.
Avantages de la céramique en carbure de silicium :
1, le coefficient de dilatation thermique est faible, très proche du silicium ;
2, excellente résistance à l'usure, dureté juste derrière le diamant ;
3, excellente conductivité thermique, résistance à haute température et dissipation thermique rapide ;